一种具有高散热性能的半导体光放大器及其制备方法

    公开(公告)号:CN118572512A

    公开(公告)日:2024-08-30

    申请号:CN202410613303.4

    申请日:2024-05-17

    Applicant: 无锡学院

    Abstract: 本发明公开了一种具有高散热性能的半导体光放大器及其制备方法,包括键合为一体的半导体光放大器芯片和石墨烯基板,其中,所述半导体光放大器芯片的键合面设有若干个均匀分布的凸起微结构,所述石墨烯基板的键合面设有若干个均匀分布的凹槽微结构,所述凸起微结构与所述凹槽微结构互相匹配,所述半导体光放大器芯片的凸起微结构能够嵌入所述石墨烯基板的凹槽微结构内。本发明通过石墨烯粘附能低、表面能高的特点,直接将经过微结构化处理后的石墨烯与半导体光放大器键合。相比于传统的半导体光放大器利用陶瓷基板进行导热,本发明将陶瓷基板替换为导热性更好的石墨烯,且无需其它胶类辅助粘黏,大大提高了散热性能,简化了工序流程。

    一种新型微流道散热结构
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN120089647A

    公开(公告)日:2025-06-03

    申请号:CN202510529772.2

    申请日:2025-04-25

    Abstract: 本发明提供了一种新型微流道散热结构,涉及散热结构技术领域。包括:基底和设置在基底上的微流道;微流道包括:第一主通道、第二主通道、微流道主体、副流道;微流道主体的进水口与出水口通过第一主通道与第二主通道相连,第一主通道与进水口连接,第二主通道与出水口连接,副流道设置在微流道主体内部以形成十字交叉结构,微流道主体为串行结构并有多个圆形单元构成;进水口设置在微流道主体的上方,出水口设置在微流道主体的下方,进水口和出水口均左右对称设置;第一主通道和第二主通道均用于对冷却液进行流导,微流道主体用于根据副流道形成多分流结构和汇流结构。本发明解决了现有技术中散热结构的散热效果低下的问题。

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