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公开(公告)号：CN118952021A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202411459835.3
申请日：2024-10-18
申请人： 无锡沃尼克半导体科技有限公司
摘要： 本发明涉及抛光设备技术领域，公开了一种半导体用石英轴抛光装置，包括支撑夹持单元、旋转抛光单元和擦拭单元。本发明，驱动电机可以带动支撑夹持单元内部夹持的石英轴旋转，并且驱动电机通过皮带带动丝杆轴旋转，进而带动抛光电机带动抛光盘在石英轴上移动，由于石英轴是旋转的，而抛光盘是水平移动，故而抛光盘可以对石英轴整体进行抛光，不需要单独移动抛光位置，进而使得整个抛光效率提高，其中擦拭单元内部的吸水海绵擦可以跟随旋转抛光单元进行移动，且移动的时候，吸水海绵擦可以对所抛光完毕的石英轴进行擦拭，使得表面残留的抛光液被吸水海绵擦所吸附，使得抛光完毕后，保证石英轴的洁净性，适合广泛推广和使用。
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公开(公告)号：CN221232191U
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN202323244877.9
申请日：2023-11-29
申请人： 无锡沃尼克半导体科技有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种半导体石英环平面磨削加工治具，涉及加工治具技术领域。包括底座，所述底座顶部的第一侧固定连接有支架，所述支架两端的顶部开设有滑槽，所述滑槽的内部设置有打磨组件，所述打磨组件包括L型打磨杆，所述L型打磨杆和滑槽滑动连接。本实用新型通过启动自锁电机带动转轴转动，转轴带动第一锥齿轮转动，第一锥齿轮带动第二锥齿轮转动，第二锥齿轮带动转杆转动，转杆带动第一带轮转动，第一带轮借助传动带带动第二带轮转动，第二带轮带动丝杆转动，丝杆带动L型打磨杆沿着滑槽进行滑动靠近的同时，L型打磨杆带动打磨槽逐渐靠近，能够完成对不同大小石英环本体的磨削，提高了装置的适用性。
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公开(公告)号：CN221088556U
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202323153713.5
申请日：2023-11-21
申请人： 无锡沃尼克半导体科技有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种半导体用石英环快速抛光装置，涉及抛光装置技术领域。包括底座，所述底座顶部的两端中间固定连接有支架，所述支架的顶部设置有抛光组件。本实用新型通过启动自锁电机带动转轴转动，转轴带动第一带轮转动，第一带轮借助传动带带动第二带轮、单向轴承、往复丝杆转动的同时，往复丝杆带动升降板沿着升降口进行上移，同步的，升降板带动抛光座上的半导体用石英环借助连接板沿着滑杆进行同步上移，当升降板、连接板上升至抛光位置时，控制自锁电机反向旋转，此时单向轴承停止带动往复丝杆转动，并利用转轴带动抛光板转动完成对抛光座上的半导体用石英环的抛光作业，耗能设备较少，降低了装置的使用成本。
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公开(公告)号：CN221365955U
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202323466743.1
申请日：2023-12-18
申请人： 无锡沃尼克半导体科技有限公司
IPC分类号： B29C67/24
摘要： 本实用新型公开了一种石英板板材压制装置，涉及压制装置技术领域。包括压箱，所述压箱内部的底部两端固定连接有若干支柱，所述支柱的外壁设置有弹簧，所述弹簧的顶部固定连接有压盒，所述压箱的顶部设置有压制组件。本实用新型通过启动自锁电机反向转动带动往复丝杆、第一锥齿轮、第二锥齿轮、转杆、第一带轮转动，第一带轮借助传动带带动第二带轮、单向轴承、转轴、偏心轮转动的同时对压盒内部原料进行均匀震动，待震动完成，启动自锁电机正向转动带动往复丝杆转动，往复丝杆带动升降架沿着压箱内壁下移，同时升降架带动压板下移并完成对压盒内部原料的压制作业，耗能设备较少，降低了装置的使用成本。
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公开(公告)号：CN221296689U
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202323333046.9
申请日：2023-12-06
申请人： 无锡沃尼克半导体科技有限公司
IPC分类号： C03B23/02
摘要： 本实用新型公开了一种半导体外延机石英板折弯装置，涉及折弯装置技术领域。包括底板，所述底板的底部固定连接有若干自锁万向轮，所述底板的顶部顶角固定连接有若干支架，所述支架的顶部固定连接有工作台。本实用新型通过启动自锁电机正向转动带动螺纹杆转动，螺纹杆带动移动柱、限位板下移的同时，限位板带动折弯块下移并完成折弯作业，接着启动自锁电机反向转动带动螺纹杆转动，螺纹杆带动第一带轮借助第一传动带带动第二带轮转动，第二带轮带动连接杆、第三带轮转动，第三带轮借助第二传动带带动第四带轮转动，第四带轮带动单向轴承转动的同时，往复丝杆带动顶块上移并完成出料，耗能设备较少，降低了装置的使用成本。
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公开(公告)号：CN221147482U
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202322908909.4
申请日：2023-10-30
申请人： 无锡沃尼克半导体科技有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种石英环平面度检测装置，涉及石英环检测技术领域。包括底板，所述底板的顶部固定连接有固定架，所述固定架的内侧安装有夹持机构、测量机构和驱动机构，所述夹持机构包括限位板，所述限位板固定连接在所述固定架内侧底部，所述限位板的顶部两端分别开设有横置的滑动孔。本实用新型通过电机工作带动双向螺纹杆进行转动，通过双向螺纹杆转动带动螺纹块沿着限位柱进行滑动，通过螺纹块移动从而带动滑动柱在滑动孔内部滑动，通过滑动柱移动带动夹持板移动，通过夹持板开合对石英环进行夹持固定，这样在测量时避免石英环发生偏移导致测量数据不准确。
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公开(公告)号：CN221062420U
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202323065277.6
申请日：2023-11-13
申请人： 无锡沃尼克半导体科技有限公司
IPC分类号： B01F27/90 , B01F27/191 , B01F35/71
摘要： 本实用新型公开了一种石英板生产配料计量装置，涉及计量装置技术领域。包括罐体，所述罐体的顶部固定连接有放置柱，所述罐体的底部边缘固定连接有若干支脚，所述罐体的底部中心固定连接有下料管，所述放置柱顶部的中心设置有搅拌组件，所述搅拌组件包括支架，所述支架和放置柱顶部的中心相固定。本实用新型通过启动自锁电机带动转轴转动，转轴带动传动齿轮转动，传动齿轮带动从动齿轮转动，从动齿轮带动丝杆转动，丝杆带动安装块下移，安装块带动量筒沿着放置柱下移的同时，量筒内部的配料通过下料口进入罐体的内部，同步的，转轴带动搅拌叶完成对配料的搅拌作业，耗能设备较少，降低了装置的使用成本。
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公开(公告)号：CN220942165U
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202322847628.2
申请日：2023-10-23
申请人： 无锡沃尼克半导体科技有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种石英环多频次清洗装置，涉及石英洗净技术领域。包括操作台，所述操作台的顶部安装有外环清洁机构，所述操作台的底部安装有循环机构、内环清洁机构和控制机构，所述循环机构包括回流框，所述回流框设置在所述操作台的底部中间。本实用新型通过在操作台的底部中间设置回流框，在操作台的底部一侧设置存储框，存储框和回流框外壁一侧固定连接有连通管，存储框和回流框之间安装有水泵，水泵两输出端分别固定连接有进水管和出水管，回流框、连通管、存储框、进水管、水泵和出水管依次相连通，这样方便将水进行收集，从而进行循环使用，从而提高了资源利用率。
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公开(公告)号：CN220923038U
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202322988881.X
申请日：2023-11-06
申请人： 无锡沃尼克半导体科技有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种石英板贴合固化装置，涉及固化装置技术领域。包括包括工作台，所述工作台的一侧两端对称的转动连接有两个转动台，每个所述转动台的一端共同固定连接有一个固化板，所述固化板可在转动驱动源的带动下转动，所述工作台的一侧固定连接有一个驱动架体。本实用新型通过可滑动的排热片的设置，使得在进行固化工作时，排热片能够被压入至和加热架平齐，从而避免在石英板上留下额外的痕迹，确保石英板成品的质量；同时，通过可转动的固化板的设置，使得固化完成后的石英板被竖起，并配合弹性连接杆使得固化板向两侧推开，在石英板的两侧形成排热通管，并利用降温抵台和降温吹管的设置，在石英板的两侧形成气流，加速降温。
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公开(公告)号：CN220569650U
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202322222371.1
申请日：2023-08-17
申请人： 无锡沃尼克半导体科技有限公司
IPC分类号： H01L21/673
摘要： 本申请涉及一种晶舟，应用在半导体设备领域，包括底座，所述底座上设有第一定位架和第二定位架，所述第一定位架和第二定位架之间连接有三个支撑棒，所述支撑棒上开设有与晶圆相匹配的卡槽，晶圆位于三个所述支撑棒之间，且晶圆抵紧架设在三个所述支撑棒上的卡槽内。本申请具有的技术效果是：操作人员利用支撑棒与支撑棒之间的空隙先对需要拿取的晶圆施加一个作用力进行托举，从而对晶圆的拿取起到辅助作用，随后从底座的顶部取出晶圆，从而减少晶圆排列紧密状态下在取出过程中的被划伤的可能性，提高了晶圆的合格率。
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