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公开(公告)号:CN110444643A
公开(公告)日:2019-11-12
申请号:CN201910787409.5
申请日:2016-02-17
Applicant: 日亚化学工业株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供一种发光元件,该发光元件具有能够进一步减少位错密度并且晶体取向好的半导体层。发光元件具备:蓝宝石基板,其在主面上具有c面;以及半导体层,其设于所述蓝宝石基板的主面侧,所述蓝宝石基板包括第一单元和多个第二单元,该第一单元包括具有与第一m轴以及第二m轴平行的边的第一区域、具有与第二m轴以及第三m轴平行的边的第二区域、以及具有与第一m轴以及第三m轴平行的边的第三区域,上述第一区域、第二区域以及第三区域在从主面侧观察时将假想的正六边形三等分成菱形,该多个第二单元与所述第一单元的各边对应地配置,并且与所述第一单元镜面对称,所述发光元件以隔开单元中央的区域地的方式配置。
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公开(公告)号:CN105895767B
公开(公告)日:2019-09-24
申请号:CN201610089939.9
申请日:2016-02-17
Applicant: 日亚化学工业株式会社
IPC: H01L33/22
Abstract: 本发明的课题在于提供一种发光元件,该发光元件具有能够进一步减少位错密度并且晶体取向好的半导体层。发光元件具备:蓝宝石基板,其在主面上具有c面;以及半导体层,其设于所述蓝宝石基板的主面侧,所述蓝宝石基板包括第一单元和多个第二单元,该第一单元包括具有与第一m轴以及第二m轴平行的边的第一区域、具有与第二m轴以及第三m轴平行的边的第二区域、以及具有与第一m轴以及第三m轴平行的边的第三区域,上述第一区域、第二区域以及第三区域在从主面侧观察时将假想的正六边形三等分成菱形,该多个第二单元与所述第一单元的各边对应地配置,并且与所述第一单元镜面对称,所述发光元件以隔开单元中央的区域地的方式配置。
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公开(公告)号:CN110444643B
公开(公告)日:2022-08-26
申请号:CN201910787409.5
申请日:2016-02-17
Applicant: 日亚化学工业株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供一种发光元件,该发光元件具有能够进一步减少位错密度并且晶体取向好的半导体层。发光元件具备:蓝宝石基板,其在主面上具有c面;以及半导体层,其设于所述蓝宝石基板的主面侧,所述蓝宝石基板包括第一单元和多个第二单元,该第一单元包括具有与第一m轴以及第二m轴平行的边的第一区域、具有与第二m轴以及第三m轴平行的边的第二区域、以及具有与第一m轴以及第三m轴平行的边的第三区域,上述第一区域、第二区域以及第三区域在从主面侧观察时将假想的正六边形三等分成菱形,该多个第二单元与所述第一单元的各边对应地配置,并且与所述第一单元镜面对称,所述发光元件以隔开单元中央的区域地的方式配置。
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公开(公告)号:CN110364414A
公开(公告)日:2019-10-22
申请号:CN201910193342.2
申请日:2019-03-14
Applicant: 日亚化学工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够提高生产率的半导体装置的制造方法以及半导体装置。根据实施方式,半导体装置的制造方法包括:准备具有上表面且含有蓝宝石的晶片的工序,所述晶片的所述上表面包括:第1区域;和第2区域,以包围所述第1区域的方式设置,所述第2区域设置在比所述第1区域高2μm以上或者低2μm以上的位置;以及在所述上表面形成具有含Al层的半导体层的工序,所述含Al层包含AlzGa1-zN(0.03≤z≤0.15)。
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公开(公告)号:CN105895767A
公开(公告)日:2016-08-24
申请号:CN201610089939.9
申请日:2016-02-17
Applicant: 日亚化学工业株式会社
IPC: H01L33/22
Abstract: 本发明的课题在于提供一种发光元件,该发光元件具有能够进一步减少位错密度并且晶体取向好的半导体层。发光元件具备:蓝宝石基板,其在主面上具有c面;以及半导体层,其设于所述蓝宝石基板的主面侧,所述蓝宝石基板包括第一单元和多个第二单元,该第一单元包括具有与第一m轴以及第二m轴平行的边的第一区域、具有与第二m轴以及第三m轴平行的边的第二区域、以及具有与第一m轴以及第三m轴平行的边的第三区域,上述第一区域、第二区域以及第三区域在从主面侧观察时将假想的正六边形三等分成菱形,该多个第二单元与所述第一单元的各边对应地配置,并且与所述第一单元镜面对称,所述发光元件以隔开单元中央的区域地的方式配置。
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