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公开(公告)号：CN106536785A
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201580038736.0
申请日：2015-07-14
Applicant: 日新电机株式会社
IPC: C23C14/24
CPC classification number: C23C14/24
Abstract: 本发明提供一种能够持续进行稳定的无火花放电的阴极构件及使用其的等离子体装置。等离子体装置(100)包括真空容器(1)、用于保持基材(21)的保持构件(2)、以及安装于真空容器(1)上的电弧式蒸发源(3)。电弧式蒸发源(2)包括朝向基材(21)而配置的阴极构件(32)。阴极构件于7.9。(32)包含玻璃状碳。阴极构件(32)的抗热震性大
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1269692A
公开(公告)日：2000-10-11
申请号：CN00104533.4
申请日：2000-02-02
Applicant: 日新电机株式会社
CPC classification number: H01J37/32192 , H01J37/32357 , H01J37/32678
Abstract: 防止在发射的等离子体中包含高能量的电子。等离子体源2a配有电磁铁40(磁场发生装置),该电磁铁在等离子体室容器内,在与等离子体发射孔8的等离子体发射方向22交叉的方向上产生引起电子回旋共振的磁场B。
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公开(公告)号：CN104937132B
公开(公告)日：2017-10-24
申请号：CN201480005582.0
申请日：2014-01-21
Applicant: 日新电机株式会社
CPC classification number: H01J37/32541 , C23C14/0605 , C23C14/325 , C23C16/26 , H01J37/32055 , H01J37/3255 , H01J37/32568 , H01J37/32669 , H01J2237/3321
Abstract: 本发明提供一种等离子体装置、碳薄膜的制造方法及涂布方法。等离子体装置(10)包括真空容器(1)、电弧式蒸发源(3)、阴极构件(4)、挡板(5)、电源(7)、及触发电极(8)。电弧式蒸发源(3)与基板(20)相向而固定于真空容器(1)的侧壁。阴极构件(4)包含具有突起部的玻璃状碳，且安装于电弧式蒸发源(3)。电源(7)对电弧式蒸发源(3)施加负的电压。触发电极(8)与阴极构件(4)的突起部接触或背离。对电弧式蒸发源(3)施加负的电压，使触发电极(8)与阴极构件(4)的突起部接触而产生电弧放电，将挡板(5)打开而将碳薄膜形成于基板(20)上。本发明的等离子体装置可抑制阴极构件裂开。
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公开(公告)号：CN1191741C
公开(公告)日：2005-03-02
申请号：CN00104533.4
申请日：2000-02-02
Applicant: 日新电机株式会社
CPC classification number: H01J37/32192 , H01J37/32357 , H01J37/32678
Abstract: 防止在发射的等离子体中包含高能量的电子。等离子体源2a配有电磁铁40(磁场发生装置)，该电磁铁在等离子体室容器内，在与等离子体发射孔8的等离子体发射方向22交叉的方向上产生引起电子回旋共振的磁场B。
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公开(公告)号：CN104937132A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201480005582.0
申请日：2014-01-21
Applicant: 日新电机株式会社
CPC classification number: H01J37/32541 , C23C14/0605 , C23C14/325 , C23C16/26 , H01J37/32055 , H01J37/3255 , H01J37/32568 , H01J37/32669 , H01J2237/3321
Abstract: 等离子体装置10包括真空容器1、电弧式蒸发源3、阴极构件4、挡板5、电源7、及触发电极8。电弧式蒸发源3与基板20相向而固定于真空容器1的侧壁。阴极构件4包含具有突起部的玻璃状碳，且安装于电弧式蒸发源3。电源7对电弧式蒸发源3施加负的电压。触发电极8与阴极构件4的突起部接触或背离。对电弧式蒸发源3施加负的电压，使触发电极8与阴极构件4的突起部接触而产生电弧放电，将挡板5打开而将碳薄膜形成于基板20上。
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