公开(公告)号：CN116892063A

公开(公告)日：2023-10-17

申请号：CN202211484201.4

申请日：2022-11-24

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 乔治·萨科 ,  迈克尔·科尔沃 ,  萨米·K·哈托

IPC: C30B31/22 ,  H01J37/08 ,  C30B29/36

Abstract: 本发明提供汽化器及具备该汽化器的离子源、含铝蒸汽的生成方法，不利用氢气就能够解决引出电极的绝缘化问题。汽化器(1)具备：坩埚(2)，在内部配置有含铝的固体材料(7)；以及加热器(5)，加热坩埚(2)，坩埚(2)具备：含氯气体导入口(2b)，将含氯气体导入坩埚(2)；以及蒸汽释放口(2a)，向坩埚(2)的外部释放通过加热含氯气体与固体材料(7)的反应生成物而产生的含铝蒸汽。

公开(公告)号：CN111696888A

公开(公告)日：2020-09-22

申请号：CN202010099333.X

申请日：2020-02-18

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 萨米·K·哈托 ,  乔治·萨科 ,  马修·C·法雷尔 ,  迪安·焦拉

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明提供能利用简易结构均匀地冷却基板的基板冷却装置和基板冷却方法。基板冷却装置包括：腔室，接收所述基板，并且具备多个侧壁部，多个侧壁部包围基板且在与所述基板的垂直侧面平行的垂直方向延伸；至少一个气体导入口，形成在所述腔室的第一侧壁部，在与所述基板的所述上表面和所述下表面平行的横向上，向所述腔室内导入冷却气体；以及至少一个气体出口，形成在与所述腔室的所述第一侧壁部隔着所述基板位于相反侧的所述腔室的第二侧壁部，将所述冷却气体的至少一部分沿着所述横向导向所述腔室的外部，所述气体导入口和所述气体出口以下述方式定位：使所述冷却气体以在所述横向横穿所述基板的所述上表面上和所述下表面上的方式流动。