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公开(公告)号：CN116892063A
公开(公告)日：2023-10-17
申请号：CN202211484201.4
申请日：2022-11-24
Applicant: 日新离子机器株式会社
Abstract: 本发明提供汽化器及具备该汽化器的离子源、含铝蒸汽的生成方法，不利用氢气就能够解决引出电极的绝缘化问题。汽化器(1)具备：坩埚(2)，在内部配置有含铝的固体材料(7)；以及加热器(5)，加热坩埚(2)，坩埚(2)具备：含氯气体导入口(2b)，将含氯气体导入坩埚(2)；以及蒸汽释放口(2a)，向坩埚(2)的外部释放通过加热含氯气体与固体材料(7)的反应生成物而产生的含铝蒸汽。
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