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发明公开
一种制造显示基板的方法及利用该方法制造的显示基板无效

公开(公告)号：CN1282091A

公开(公告)日：2001-01-31

申请号：CN00121464.0

申请日：2000-07-24

Applicant: 日本板硝子株式会社

Inventor： 中村真记 , 水野俊明 , 荻野悦男 , 安崎利明

IPC: H01J9/00 , H01J17/49 , C23C14/34

CPC classification number: C03C17/3435 , C23C14/0676 , C23C14/3414

Abstract: 提供了一种制造显示基板的方法,该方法能容易地控制形成在基板一个表面上的抗带电薄膜的表面电阻值,还提供了一种用上述方法制造的显示基板。上述薄膜这样形成;用金属氧化物制备一个靶标,以及在一种惰性气体和氮气的混合气体环境中利用该靶标以溅射法在基板的一个表面上形成一个金属氮氧化合物薄膜,其中环境中的惰性气体与氮气的混合比被调节得使薄膜具有希望的表面电阻值。

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