公开(公告)号：CN112534705B

公开(公告)日：2024-11-12

申请号：CN202080004425.3

申请日：2020-03-27

Applicant: 日本特殊陶业株式会社

Inventor： 上松秀树 ,  铃木淳二 ,  泉原一贵 ,  川村雄司

IPC: H02N13/00 ,  H05B3/03 ,  H05B3/74 ,  H01L21/683

Abstract: 使板状构件的表面的温度分布的控制性提高。保持装置的制造方法包括以下工序：在陶瓷坯片上形成加热器图案的工序；在陶瓷坯片上配置覆盖加热器图案的覆盖层的工序；通过对多个陶瓷坯片的层叠体进行烧制从而制作板状构件的第2部分和加热器电极的工序；利用第2接合部接合第2部分和基座构件的工序；进行由基座构件的冷却机构进行的冷却和向加热器电极供电，并且测量板状构件的第2部分的表面的温度分布的工序；基于温度分布的测量结果，将被覆盖层覆盖的加热器电极的一部分连同覆盖层一起去除，从而调整加热器电极的电阻的工序；以及利用第1接合部接合板状构件的第2部分和第1部分的工序。

公开(公告)号：CN112534705A

公开(公告)日：2021-03-19

申请号：CN202080004425.3

申请日：2020-03-27

Applicant: 日本特殊陶业株式会社

Inventor： 上松秀树 ,  铃木淳二 ,  泉原一贵 ,  川村雄司

IPC: H02N13/00 ,  H05B3/03 ,  H05B3/74 ,  H01L21/683

Abstract: 使板状构件的表面的温度分布的控制性提高。保持装置的制造方法包括以下工序：在陶瓷坯片上形成加热器图案的工序；在陶瓷坯片上配置覆盖加热器图案的覆盖层的工序；通过对多个陶瓷坯片的层叠体进行烧制从而制作板状构件的第2部分和加热器电极的工序；利用第2接合部接合第2部分和基座构件的工序；进行由基座构件的冷却机构进行的冷却和向加热器电极供电，并且测量板状构件的第2部分的表面的温度分布的工序；基于温度分布的测量结果，将被覆盖层覆盖的加热器电极的一部分连同覆盖层一起去除，从而调整加热器电极的电阻的工序；以及利用第1接合部接合板状构件的第2部分和第1部分的工序。