公开(公告)号：CN112534705B

公开(公告)日：2024-11-12

申请号：CN202080004425.3

申请日：2020-03-27

Applicant: 日本特殊陶业株式会社

Inventor： 上松秀树 ,  铃木淳二 ,  泉原一贵 ,  川村雄司

IPC: H02N13/00 ,  H05B3/03 ,  H05B3/74 ,  H01L21/683

Abstract: 使板状构件的表面的温度分布的控制性提高。保持装置的制造方法包括以下工序：在陶瓷坯片上形成加热器图案的工序；在陶瓷坯片上配置覆盖加热器图案的覆盖层的工序；通过对多个陶瓷坯片的层叠体进行烧制从而制作板状构件的第2部分和加热器电极的工序；利用第2接合部接合第2部分和基座构件的工序；进行由基座构件的冷却机构进行的冷却和向加热器电极供电，并且测量板状构件的第2部分的表面的温度分布的工序；基于温度分布的测量结果，将被覆盖层覆盖的加热器电极的一部分连同覆盖层一起去除，从而调整加热器电极的电阻的工序；以及利用第1接合部接合板状构件的第2部分和第1部分的工序。

公开(公告)号：CN112534705A

公开(公告)日：2021-03-19

申请号：CN202080004425.3

申请日：2020-03-27

Applicant: 日本特殊陶业株式会社

Inventor： 上松秀树 ,  铃木淳二 ,  泉原一贵 ,  川村雄司

IPC: H02N13/00 ,  H05B3/03 ,  H05B3/74 ,  H01L21/683

Abstract: 使板状构件的表面的温度分布的控制性提高。保持装置的制造方法包括以下工序：在陶瓷坯片上形成加热器图案的工序；在陶瓷坯片上配置覆盖加热器图案的覆盖层的工序；通过对多个陶瓷坯片的层叠体进行烧制从而制作板状构件的第2部分和加热器电极的工序；利用第2接合部接合第2部分和基座构件的工序；进行由基座构件的冷却机构进行的冷却和向加热器电极供电，并且测量板状构件的第2部分的表面的温度分布的工序；基于温度分布的测量结果，将被覆盖层覆盖的加热器电极的一部分连同覆盖层一起去除，从而调整加热器电极的电阻的工序；以及利用第1接合部接合板状构件的第2部分和第1部分的工序。

公开(公告)号：CN118435342A

公开(公告)日：2024-08-02

申请号：CN202280084121.1

申请日：2022-12-23

Applicant: 日本特殊陶业株式会社

Inventor： 川村雄司 ,  山口贵司 ,  岛津香里 ,  上松秀树

IPC: H01L21/683 ,  C23C14/50 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065 ,  H02N13/00

Abstract: 一种保持装置，具有：圆板状的第一板状部件，具备第一面和设置于与所述第一面相反的一侧的第二面；圆板状的第二板状部件，具备第三面、设置于与所述第三面相反的一侧的第四面及发热电阻体，且直径比所述第一面大；基座部件，具备配置于所述第二面与所述第三面之间并将所述第一板状部件与所述第二板状部件接合的第一接合层、第五面及设置于与所述第五面相反的一侧的第六面；及第二接合层，配置于所述第四面与所述第五面之间并将所述第二板状部件与所述基座部件接合，将对象物保持在所述第一板状部件的所述第一面上，其中，在从所述第一板状部件、所述第二板状部件及所述基座部件的层叠方向观察时，所述第一接合层和所述第二接合层中的至少一方的外周位于比所述第二板状部件的外周向内侧缩进的位置。