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公开(公告)号：CN119480599A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202410899166.5
申请日：2024-07-05
Applicant: 日本特殊陶业株式会社
IPC: H01J37/32 , H01J37/20 , H01L21/683
Abstract: 本发明提供一种保持装置，具备以高纯度的陶瓷为主成分的板状部件和与配置于其内部的电极层的紧贴性优异的保持基板。本发明的保持装置具备保持基板，该保持基板具有：板状部件，包括保持对象物的第一表面及配置于第一表面的相反侧的第二表面，且含有陶瓷作为主成分；及电极层，配置于板状部件的内部，含有导电材料作为主成分且含有陶瓷作为副成分。板状部件包括：第一介电层，配置在电极层的第一表面侧，主成分的含有率为99质量％以上；及第二介电层，配置在电极层的第二表面侧，主成分的含有率为99质量％以上。电极层的第一表面侧的表面的分形维数D为1.18以上。
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