公开(公告)号：CN100552353C

公开(公告)日：2009-10-21

申请号：CN200510093521.7

申请日：2005-08-26

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 寺泽达矢 ,  岛田尚幸 ,  久野泰治 ,  樱井隆行

IPC: F26B3/347

Abstract: 本发明涉及利用微波的蜂窝状烧结体的微波干燥方法。提供一种蜂窝状烧结体的微波干燥方法，其可在蜂窝状烧结体的干燥过程中充分减小烧结体内部的干燥速度差，并可在不产生隔室变形的情况下进行干燥。该方法为，通过对隔室的轴向为上下方向地设置于干燥炉内的蜂窝状烧结体(1)照射频率300～30000MHz的微波来使蜂窝状烧结体(1)干燥的方法。在本发明中，通过照射微波使干燥过程中的蜂窝状烧结体(1)上下方向的水分含量差大于等于0.0%/mm且小于等于0.3%/mm。

公开(公告)号：CN1740722A

公开(公告)日：2006-03-01

申请号：CN200510093521.7

申请日：2005-08-26

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 寺泽达矢 ,  岛田尚幸 ,  久野泰治 ,  樱井隆行

IPC: F26B3/347

Abstract: 本发明涉及利用微波的蜂窝状烧结体的微波干燥方法。提供一种蜂窝状烧结体的微波干燥方法，其可在蜂窝状烧结体的干燥过程中充分减小烧结体内部的干燥速度差，并可在不产生隔室变形的情况下进行干燥。该方法为，通过对隔室的轴向为上下方向地设置于干燥炉内的蜂窝状烧结体(1)照射频率300～30000MHz的微波来使蜂窝状烧结体(1)干燥的方法。在本发明中，通过照射微波使干燥过程中的蜂窝状烧结体(1)上下方向的水分含量差大于等于0.0％/mm且小于等于0.3％/mm。

公开(公告)号：CN101809197B

公开(公告)日：2013-02-13

申请号：CN200980100392.6

申请日：2009-02-25

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 齐藤隆雄 ,  寺泽达矢

IPC: C23C16/54 ,  C23C16/50 ,  C23C16/515

CPC classification number: C23C16/515 ,  C23C16/26 ,  C23C16/54

Abstract: 本发明提供一种成膜装置，其具有：包含两个电极在该两个电极之间产生等离子体通过DLC膜覆盖基板(90)的成膜部(54)；设置了多个该成膜部(54)的室(12)；以及具有电气电路(62)的脉冲电源部(60)，该电气电路(62)对这些多个成膜部(54)分别一一设置，在成膜部54的支撑电极(51)和对向电极(52)之间施加直流脉冲电压。

公开(公告)号：CN101809197A

公开(公告)日：2010-08-18

申请号：CN200980100392.6

申请日：2009-02-25

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 齐藤隆雄 ,  寺泽达矢

IPC: C23C16/54 ,  C23C16/50 ,  C23C16/515

CPC classification number: C23C16/515 ,  C23C16/26 ,  C23C16/54

Abstract: 本发明提供一种成膜装置，其具有：包含两个电极在该两个电极之间产生等离子体通过DLC膜覆盖基板(90)的成膜部(54)；设置了多个该成膜部(54)的室(12)；以及具有电气电路(62)的脉冲电源部(60)，该电气电路(62)对这些多个成膜部(54)分别一一设置，在成膜部(54)的支撑电极(51)和对向电极(52)之间施加直流脉冲电压。