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公开(公告)号：CN112514534A
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN201980049967.X
申请日：2019-12-12
Applicant: 日本碍子株式会社
Abstract: 陶瓷加热器(10)具备内置有外周侧电阻发热体(24)的陶瓷板(20)、以及利用前端的测温部(50a)测定外周侧区域(Z2)的温度的外周侧热电偶(50)。外周侧电阻发热体(24)从设置于陶瓷板(20)的中央部的一对端子(24a、24b)的一方伸出至圆环状的外周侧区域(Z2)，在外周侧区域(Z2)中在多个折回部(24c)折回并布线之后，到达一对端子(24a、24b)的另一方。测温部(50a)配置于外周侧区域(Z2)中除了外周侧电阻发热体(24)的折回部(24c)彼此相对的部分(25)以外的位置。
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公开(公告)号：CN112514534B
公开(公告)日：2022-10-28
申请号：CN201980049967.X
申请日：2019-12-12
Applicant: 日本碍子株式会社
Abstract: 陶瓷加热器(10)具备内置有外周侧电阻发热体(24)的陶瓷板(20)、以及利用前端的测温部(50a)测定外周侧区域(Z2)的温度的外周侧热电偶(50)。外周侧电阻发热体(24)从设置于陶瓷板(20)的中央部的一对端子(24a、24b)的一方伸出至圆环状的外周侧区域(Z2)，在外周侧区域(Z2)中在多个折回部(24c)折回并布线之后，到达一对端子(24a、24b)的另一方。测温部(50a)配置于外周侧区域(Z2)中除了外周侧电阻发热体(24)的折回部(24c)彼此相对的部分(25)以外的位置。
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公开(公告)号：CN113207199A
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN202110146168.3
申请日：2021-02-02
Applicant: 日本碍子株式会社
Abstract: 本发明提供一种陶瓷加热器。陶瓷加热器(10)具备：在表面具有晶片载置面(20a)的陶瓷板(20)；埋设在陶瓷板(20)中的电阻发热体(22、24)；从陶瓷板(20)的背面(20b)支撑陶瓷板(20)的筒状轴(40)；设置于陶瓷板(20)的背面(20b)中被筒状轴(40)包围的轴内区域(20d)的凹部(21)；设置于凹部(21)的侧面(21a)而向电阻发热体(22、24)供给电力的端子(23a、23b、25a、25b)。
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公开(公告)号：CN113207199B
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202110146168.3
申请日：2021-02-02
Applicant: 日本碍子株式会社
Abstract: 本发明提供一种陶瓷加热器。陶瓷加热器(10)具备：在表面具有晶片载置面(20a)的陶瓷板(20)；埋设在陶瓷板(20)中的电阻发热体(22、24)；从陶瓷板(20)的背面(20b)支撑陶瓷板(20)的筒状轴(40)；设置于陶瓷板(20)的背面(20b)中被筒状轴(40)包围的轴内区域(20d)的凹部(21)；设置于凹部(21)的侧面(21a)而向电阻发热体(22、24)供给电力的端子(23a、23b、25a、25b)。
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公开(公告)号：CN113286384A
公开(公告)日：2021-08-20
申请号：CN202110146170.0
申请日：2021-02-02
Applicant: 日本碍子株式会社
Abstract: 本发明提供陶瓷加热器及其制造方法。陶瓷加热器(10)具备：在表面具有晶片载置面(20a)的陶瓷板(20)；埋设在陶瓷板(20)中的电阻发热体(22、24)；从陶瓷板(20)的背面(20b)支撑陶瓷板(20)的筒状轴(40)；设置于陶瓷板(20)的背面(20b)中被筒状轴(40)包围的轴内区域(20d)、且大小与轴内区域(20d)一致的凹部(21)；从设置于凹部(21)的侧面(21a)的开口部(26a)到达陶瓷板(20)的外周部的末端位置(26e)的长孔(26)；以及设置于陶瓷板(20)背面的轴内区域(20d)的附带部件(端子(22a、22b、24a、24b等))。
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