公开(公告)号：CN1758418A

公开(公告)日：2006-04-12

申请号：CN200510107892.6

申请日：2005-09-29

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 新井诚 ,  梶浦靖博 ,  近藤良夫

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/68 ,  H01L31/18 ,  F27B9/24 ,  B65G49/07

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本发明的连续式热处理炉是从炉的入口侧朝向出口侧依次设置有进行被热处理物的干燥以及/或者脱粘接剂处理的至少一个干燥·脱粘接剂区域，和进行被热处理物的烧结的烧结区域，在所述被热处理物一边在所述干燥·脱粘接剂区域被搬送一边进行干燥以及/或者脱粘接剂处理后，在所述烧结区域一边搬送一边烧结的热处理炉，所采用的结构为，作为用于搬送所述被热处理物的搬送机构，有沿所述被热处理物的搬送方向配置的至少2个搬送机构，在所述干燥·脱粘接剂区域和所述烧结区域，利用不同的所述搬送机构搬送所述被热处理物，同时，设定所述各搬送机构的搬送速度使得在所述干燥·脱粘接剂区域中的搬送速度和在所述烧结区域的搬送速度为不同的搬送速度。

公开(公告)号：CN100413020C

公开(公告)日：2008-08-20

申请号：CN200510107892.6

申请日：2005-09-29

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 新井诚 ,  梶浦靖博 ,  近藤良夫

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/68 ,  H01L31/18 ,  F27B9/24 ,  B65G49/07

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本发明的连续式热处理炉是从炉的入口侧朝向出口侧依次设置有进行被热处理物的干燥以及/或者脱粘接剂处理的至少一个干燥·脱粘接剂区域，和进行被热处理物的烧结的烧结区域，在所述被热处理物一边在所述干燥·脱粘接剂区域被搬送一边进行干燥以及/或者脱粘接剂处理后，在所述烧结区域一边搬送一边烧结的热处理炉，所采用的结构为，作为用于搬送所述被热处理物的搬送机构，有沿所述被热处理物的搬送方向配置的至少2个搬送机构，在所述干燥·脱粘接剂区域和所述烧结区域，利用不同的所述搬送机构搬送所述被热处理物，同时，设定所述各搬送机构的搬送速度使得在所述干燥·脱粘接剂区域中的搬送速度和在所述烧结区域的搬送速度为不同的搬送速度。