公开(公告)号：CN1659718A

公开(公告)日：2005-08-24

申请号：CN03813535.3

申请日：2003-06-10

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 柴田和义 ,  池田幸司 ,  渡边雅志

IPC: H01L41/083 ,  H01L41/24

CPC classification number: H01L41/43 ,  H01L41/083 ,  H01L41/094 ,  H01L41/0946 ,  H01L41/27 ,  H01L41/338 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/435

Abstract: 一种压电/电致伸缩装置(10)包括一固定部(11)，被该固定部支撑的薄板部(12)和一由多个电极和多个压电/电致伸缩层交替构成的压电/电致伸缩元件(14)。该压电/电致伸缩装置(10)通过首先在构成所述薄板部(12)的薄板上形成包括片状电极和压电/电致伸缩层的压电/电致伸缩层多层体，然后切割薄板和压电/电致伸缩层多层体而制成。该切割通过沿压电/电致伸缩多层体的层叠方向往复移动线状部件(线锯)且与层叠方向平行。因此，片状电极被切割，且同时在电极层平面内被延伸，从而覆盖压电/电致伸缩层的端面的区域减少。