-
公开(公告)号：CN108249388A
公开(公告)日：2018-07-06
申请号：CN201710501989.8
申请日：2017-06-27
申请人： 意法半导体股份有限公司
IPC分类号： B81B7/02
CPC分类号： H01L41/0953 , B81B3/0018 , G02B26/0833 , H01G5/18 , H01G5/38 , H01H2057/006 , H01L41/094 , H01L41/0946 , H02N2/043 , H02N2/046
摘要： 本公开涉及可在平面中移动的压电式微机电致动器设备。例如，一种形成在衬底(28)上的压电型MEMS致动器设备(100)，该压电型MEMS致动器设备具有包括基础梁元件(20)的基础单元(22A)，该基础梁元件具有在延伸平面中的主延伸以及在垂直于该延伸平面的厚度方向上的小于该主延伸的厚度。压电区(29)在该梁元件之上延伸。锚区(23)刚性连接至该基础梁元件以及至该衬底(28)。基础约束结构(21)连接至该基础梁元件(20)的一端并且被配置成用于允许该基础梁元件在该延伸平面中的变形并基本上减少该基础梁元件在该厚度方向上的变形。
-
公开(公告)号：CN101652921A
公开(公告)日：2010-02-17
申请号：CN200880010624.4
申请日：2008-02-06
申请人： 夏普株式会社
CPC分类号： G02B7/08 , G02B7/102 , H01L41/0946 , H02N2/0015 , H02N2/025
摘要： 为了实现驱动装置的薄型化，本发明的驱动装置包括：弯曲位移部件(1A)，其一部分被固定，其弯曲位移通过电气控制来激发；弯曲位移部件(1B)，其一部分被固定，其弯曲位移通过电气控制来激发；联结弯曲位移部件(1A、1B)的弹性部件(2)；联结弹性部件(2)并且一部分可与镜筒(4)接触的摩擦部件(3)；以及可收纳弯曲位移部件(1A、1B)、弹性部件(2)、摩擦部件(3)和镜筒(4)的相机模组筐体(6)。弯曲位移部件(1A、1B)沿着相机模组筐体(6)的内壁进行配置。本发明的驱动装置还包括控制部，该控制部通过激发弯曲位移部件(1A、1B)的弯曲位移使得弹性部件(2)发生弯曲或形变，从而使摩擦部件(3)的一部分接触镜筒(4)并沿着与弯曲位移部件(1A、1B)的弯曲位移方向不同的方向对镜筒(4)实施驱动。根据本发明，能够实现驱动装置的小型化和薄型化。
-
公开(公告)号：CN100568568C
公开(公告)日：2009-12-09
申请号：CN200480043097.9
申请日：2004-04-23
CPC分类号： H01L41/0946 , H01L41/1876 , H01L41/25 , H01L41/318 , Y10T29/42 , Y10T29/435 , Y10T29/49005 , Y10T29/4902 , Y10T29/49144 , Y10T29/49153
摘要： 一种机电装置(201)包括通过将第二和第三基片(220a-b)的内表面连接在第一基片(230)上而形成的支承构件(210)。支承构件(210)包括至少一个在第二和第三基片(220a-b)之间的空腔。在第二或第三层(220a-b)中至少一个的外表面上设置机电式活动元件(220a-b)。
-
公开(公告)号：CN1319046C
公开(公告)日：2007-05-30
申请号：CN200310115769.X
申请日：2003-11-28
申请人： TDK株式会社
CPC分类号： G11B5/5552 , H01L41/0946 , H01L41/25 , H01L41/313
摘要： 本发明提供一种致动器(1)，其具有一对臂(12)和一个将臂相互连接的连接部件(15)。臂(12)和连接部件(15)整个地由单晶硅形成。各自的压电装置(30)结合在臂(12)上。
-
公开(公告)号：CN1820407A
公开(公告)日：2006-08-16
申请号：CN200580000662.8
申请日：2005-06-07
申请人： 松下电器产业株式会社
IPC分类号： H02N2/00 , H01L41/09 , H01L41/18 , H01L41/187
CPC分类号： H01L41/096 , G02B27/646 , H01L41/0946 , H01L41/0953 , H02N2/028
摘要： 在包括具有从厚度方向看具有规定的宽度和长度的基板1，设置在该基板1的厚度方向上的一个表面上的加强部2以及设置在所述基板1的厚度方向上的另一个表面上、使该基板的长度方向的另一端相对该基板的长度方向的一端沿基板宽度方向变位的变位元件(压电元件3)的驱动部10的执行机构11中，将所述加强部2形成为该加强部2在基板宽度方向的弯曲刚度小于在基板厚度方向的弯曲刚度的形状。
-
公开(公告)号：CN1504999A
公开(公告)日：2004-06-16
申请号：CN200310115773.6
申请日：2003-11-28
申请人： TDK株式会社
CPC分类号： G11B5/5552 , H01L41/0946 , H01L41/25 , H01L41/313
摘要： 本发明提供一种导线易于连接的致动器及其制作方法。在本发明的致动器(10)中，一对通过掺有杂质而降低了自身电阻的硅臂(14、14)通过玻璃基板(12)相互连接。每个硅臂(14)的预定的表面(24b)形成有压电部分(20)，而压电部分(20)的预定的表面(20b)形成有薄膜电极(22)。因此，当电压施加于连接在薄膜电极(22)上的连接导线(22A)和连接于硅臂(14)上的连接导线(18A)时，压电部分(20)被驱动。由于连接导线(18A)能够连接在硅臂(14)的任何部位上，当适当选择导线(18A)易于连接的位置和表面后，线路连接即可实现。
-
公开(公告)号：CN103730132B
公开(公告)日：2017-08-15
申请号：CN201310483082.5
申请日：2013-10-15
申请人： 希捷科技有限公司
IPC分类号： G11B5/55 , G11B5/48 , H01L41/083
CPC分类号： H01L41/083 , G11B5/483 , G11B5/4873 , G11B5/5552 , H01L41/0946
摘要： 用于定位控制对象的装置，例如用于毗邻数据存储介质定位读/写换能器的微致动器。根据一些实施例，压电换能器(PZT)部件适于感应出弯曲工作模式下的控制对象的旋转位移。PZT部件具有多个压电材料层和设置在这些压电材料层之间的多个导电层。压电材料层包括有源层的第一子集以及至少一个无源层。
-
公开(公告)号：CN101908834A
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN201010196488.1
申请日：2010-06-02
发明人： 秦健次郎
IPC分类号： H02N2/00
CPC分类号： G11B5/4826 , G11B5/4873 , H01L41/0946 , H01L41/314 , Y10T29/42
摘要： 压电驱动器具备支撑基板、具有第1压电层叠体、第2压电层叠体以及位移部的主体部、第1弹性体层；第1弹性体层以连接第1压电层叠体的下面、第2压电层叠体的下面、第1压电层叠体的侧面、第2压电层叠体的侧面的方式被固定于主体部；第1弹性体层的第1～第4区域由第1～第4结合部而被固定于支撑基板的主面；非结合面未被固定于支撑基板(3)的主面。
-
公开(公告)号：CN1848342A
公开(公告)日：2006-10-18
申请号：CN200610074716.1
申请日：2006-04-11
申请人： 株式会社东芝
发明人： 池桥民雄
CPC分类号： H01G5/16 , H01G5/18 , H01H59/0009 , H01H2001/0063 , H01H2057/006 , H01H2059/0018 , H01L41/094 , H01L41/0946 , H02N1/006
摘要： 一种半导体器件，它包括弹性部件、第一和第二电极、压电致动器、以及静电致动器。弹性部件的一个末端通过固定器被固定在衬底上，以便在弹性部件与衬底之间形成间隙。第一和第二电极分别被安置成面对弹性部件的另一末端和衬底。此压电致动器使弹性部件的另一末端形变，以便使之靠近衬底。静电致动器包括位于弹性部件中的第三电极和位于衬底上面对第三电极的第四电极，并使弹性部件的另一末端形变，以便使之靠近衬底。借助于驱动压电致动器和静电致动器，来改变第一电极与第二电极之间的距离。
-
公开(公告)号：CN1790751A
公开(公告)日：2006-06-21
申请号：CN200510119434.4
申请日：2005-11-11
申请人： 株式会社东芝
CPC分类号： H03H9/173 , B81B3/0018 , G02B26/0858 , H01G5/18 , H01H2057/006 , H01L27/20 , H01L41/094 , H01L41/0946 , H01L41/0973 , H03H9/0542 , H03H9/587 , H03H2003/027 , H03H2009/241
摘要： 提供一种具有执行器的半导体装置，其中具有半导体基板；在上述半导体基板的上方设置空间进行配置，具有下部电极及上部电极和夹在这些下部电极及上部电极之间的压电体层，在上述下部电极、上述上部电极及上述压电体层之中至少上述压电体层的整个表面大致是平坦的执行器。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
38 条记录 (耗时 0.015 秒)
