公开(公告)号：CN106664790B

公开(公告)日：2019-02-15

申请号：CN201680002242.1

申请日：2016-08-18

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 辻裕之 ,  高桥知典 ,  近藤好正 ,  北村和正 ,  赤尾隆嘉 ,  长江智毅

IPC: H05H3/02 ,  H05H1/46

Abstract: 原子束源(10)具备：筒状的阴极(20)，其具有设置有能够射出原子束的射出口(32)的射出部(30)；设置在阴极20的内部的棒状的第一阳极40；以及与第一阳极(40)分开设置在所述阴极(20)的内部的棒状的第二阳极(50)；通过将从阴极(20)的形状、第一阳极(40)的形状、第二阳极(50)的形状、以及阴极(20)与第一阳极(40)和所述第二阳极(50)的位置关系组成的组中选择的至少一个设为预定的构成，从而抑制溅射粒子的射出，该溅射粒子是由第一阳极(40)与第二阳极(50)之间的等离子体生成的阳离子与阴极(20)、第一阳极(40)及第二阳极(50)中的至少一个发生碰撞而产生的。

公开(公告)号：CN112020900B

公开(公告)日：2023-11-21

申请号：CN201980028445.1

申请日：2019-03-04

Applicant: 国立大学法人东海国立大学机构 ,  日本碍子株式会社

Inventor： 秦诚一 ,  樱井淳平 ,  平井友喜 ,  辻裕之 ,  赤尾隆嘉 ,  长江智毅 ,  高桥知典

IPC: H05H3/02 ,  G21K1/14 ,  H05H1/24

公开(公告)号：CN112020900A

公开(公告)日：2020-12-01

申请号：CN201980028445.1

申请日：2019-03-04

Applicant: 国立大学法人东海国立大学机构 ,  日本碍子株式会社

Inventor： 秦诚一 ,  樱井淳平 ,  平井友喜 ,  辻裕之 ,  赤尾隆嘉 ,  长江智毅 ,  高桥知典

IPC: H05H3/02 ,  G21K1/14 ,  H05H1/24

Abstract: 原子束产生装置(10)具备：阴极(20)，其是具有设置有能够射出原子束的照射口(23)的射出面(22)的框体；阳极(40)，其配设于阴极(20)的内部，且与阴极(20)之间产生等离子体；以及磁场产生部(61、62)，其具有产生第一磁场(B1)的第一磁场产生部(61)和产生第二磁场(B2)的第二磁场产生部(62)，以从射出面(22)侧使第一磁场位于第二磁场的上方进行观察时的磁场的方向在第一磁场为向左、且在第二磁场为向右的方式，在阴极(20)内产生与射出面(22)平行的第一磁场和第二磁场，从而将在阴极(20)内生成的阳离子导向射出面。

公开(公告)号：CN106664790A

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201680002242.1

申请日：2016-08-18

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 辻裕之 ,  高桥知典 ,  近藤好正 ,  北村和正 ,  赤尾隆嘉 ,  长江智毅

IPC: H05H3/02 ,  H05H1/46

CPC classification number: G21K5/00 ,  G21K5/02 ,  H05H1/46 ,  H05H3/02

Abstract: 原子束源(10)具备：筒状的阴极(20)，其具有设置有能够射出原子束的射出口(32)的射出部(30)；设置在阴极20的内部的棒状的第一阳极40；以及与第一阳极(40)分开设置在所述阴极(20)的内部的棒状的第二阳极(50)；通过将从阴极(20)的形状、第一阳极(40)的形状、第二阳极(50)的形状、以及阴极(20)与第一阳极(40)和所述第二阳极(50)的位置关系组成的组中选择的至少一个设为预定的构成，从而抑制溅射粒子的射出，该溅射粒子是由第一阳极(40)与第二阳极(50)之间的等离子体生成的阳离子与阴极(20)、第一阳极(40)及第二阳极(50)中的至少一个发生碰撞而产生的。