公开(公告)号：CN101265101A

公开(公告)日：2008-09-17

申请号：CN200810095159.0

申请日：2008-03-12

Applicant: 日本碍子株式会社 ,  国立大学法人长冈技术科学大学

Inventor： 小林义政 ,  胜田祐司 ,  阪井博明 ,  新原皓一 ,  中山忠亲

IPC: C04B35/505

Abstract: 本发明提供一种机械特性优良的氧化钇材料。本发明的发明人发现，通过在氧化钇(Y2O3)中添加碳化硅(SiC)和氟化钇(YF3)可使氧化钇材料韧性化，可提高用作半导体制造装置用构件时的成品率、操作性及可靠性。

公开(公告)号：CN101265101B

公开(公告)日：2013-02-06

申请号：CN200810095159.0

申请日：2008-03-12

Applicant: 日本碍子株式会社 ,  国立大学法人长冈技术科学大学

Inventor： 小林义政 ,  胜田祐司 ,  阪井博明 ,  新原皓一 ,  中山忠亲

IPC: C04B35/505

Abstract: 本发明提供一种机械特性优良的氧化钇材料。本发明的发明人发现，通过在氧化钇(Y2O3)中添加碳化硅(SiC)和氟化钇(YF3)可使氧化钇材料韧性化，可提高用作半导体制造装置用构件时的成品率、操作性及可靠性。

公开(公告)号：CN114761630B

公开(公告)日：2024-07-19

申请号：CN202080080357.9

申请日：2020-12-16

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 小川博久 ,  小林义政 ,  饭田和希 ,  柴田宏之

IPC: C30B29/38 ,  H01L21/205 ,  H01L33/32

Abstract: AlN单晶板具有厚度方向上的第一面、以及与第一面对置的第二面。AlN单晶板在第一面与第二面之间的中间部，与第一面大致平行地存在分散地导入有多个金属成分的含金属成分区域。

公开(公告)号：CN110088061B

公开(公告)日：2022-05-13

申请号：CN201780073408.3

申请日：2017-12-20

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 小林义政 ,  小林博治 ,  饭田和希

IPC: C04B35/581

Abstract: 取向AlN烧结体的制法的第一工序中，在包含板面为c面、纵横尺寸比为3以上、平均厚度为0.05～1.8μm的板状AlN粉末的AlN原料粉末中混合烧结助剂，得到混合物，将该混合物成型，制作成型体，且该工序中，以所述板状AlN粉末的板面沿着所述成型体的表面的方式将所述混合物成型。第二工序中，对成型体的表面进行加压，同时，在非氧化气氛下，对成型体进行热压烧成，得到取向AlN烧结体。

公开(公告)号：CN110072826B

公开(公告)日：2022-03-01

申请号：CN201780073409.8

申请日：2017-12-20

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 小林义政 ,  小林博治 ,  饭田和希 ,  大和田岩

IPC: C04B35/581 ,  C04B35/645

Abstract: 透明AlN烧结体的制法的第一工序中，首先，在包含板面为c面、纵横尺寸比为3以上的板状AlN粉末的AlN原料粉末中混合烧结助剂，得到混合物，将该混合物成型，制作成型体。此时，以板状AlN粉末的板面沿着成型体的表面的方式将混合物成型。第二工序中，对成型体的表面进行加压，同时，在非氧化气氛下，对成型体进行热压烧成，得到取向AlN烧结体。第三工序中，在非氧化气氛下，对取向AlN烧结体进行常压烧成，除去源自于烧结助剂的成分，由此，得到透明AlN烧结体。

公开(公告)号：CN111868010B

公开(公告)日：2023-04-28

申请号：CN201980005454.9

申请日：2019-03-27

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 小林义政 ,  小林博治 ,  柴田宏之

IPC: C04B35/581 ,  C30B29/38

Abstract: 提供一种氮化铝板，其具备表层和下层。该氮化铝板中，当从厚度方向对表层进行X射线衍射测定时的(002)晶面的衍射强度相对于(002)晶面的衍射强度与(100)晶面的衍射强度之和的比例为c面取向度c1，从厚度方向对表层以外的部位进行X射线衍射测定时的(002)晶面的衍射强度相对于(002)晶面的衍射强度与(100)晶面的衍射强度之和的比例为c面取向度c2，并且表层的(102)晶面的X射线摇摆曲线中的半值宽度为w1、表层以外的部位的(102)晶面的X射线摇摆曲线中的半值宽度为w2时，满足“式1：c1＞97.5％”、“式2：c2＞97.0％”、“式3：w1＜2.5”、“式4：w1/w2＜0.995”。

公开(公告)号：CN110402234B

公开(公告)日：2022-10-14

申请号：CN201780086883.4

申请日：2017-03-22

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 小林博治 ,  饭田和希 ,  小林义政

IPC: C01B21/072 ,  C04B35/581

Abstract: 本发明公开一种用作氮化铝烧结体的原料的氮化铝粒子。关于该氮化铝粒子，粒子内的晶体取向一致，纵横尺寸比为3以上，呈板状，表面方向长度为0.6μm～20μm，且厚度方向长度为0.05μm～2μm。

公开(公告)号：CN111868011A

公开(公告)日：2020-10-30

申请号：CN201980005455.3

申请日：2019-03-27

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 小林义政 ,  小林博治

IPC: C04B35/581 ,  C30B29/38

Abstract: 本发明提供一种氮化铝板，其具备表层和下层。该氮化铝板中，当从厚度方向对表层进行X射线衍射测定时的(002)晶面的衍射强度相对于(002)晶面的衍射强度与(100)晶面的衍射强度之和的比例为c面取向度c1，且从厚度方向对表层以外的部位(下层)进行X射线衍射测定时的(002)晶面的衍射强度相对于(002)晶面的衍射强度与(100)晶面的衍射强度之和的比例为c面取向度c2时，同时满足“式1：c1＞97.5％”及“式2：c2/c1＜0.995”。另外，该氮化铝板中，表层的含氮量与表层以外的部位的氮含有率之差按重量比计小于0.15％。

公开(公告)号：CN110402234A

公开(公告)日：2019-11-01

申请号：CN201780086883.4

申请日：2017-03-22

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 小林博治 ,  饭田和希 ,  小林义政

IPC: C01B21/072 ,  C04B35/581

Abstract: 本发明公开一种用作氮化铝烧结体的原料的氮化铝粒子。关于该氮化铝粒子，粒子内的晶体取向一致，纵横尺寸比为3以上，呈板状，表面方向长度为0.6μm～20μm，且厚度方向长度为0.05μm～2μm。

公开(公告)号：CN104150884A

公开(公告)日：2014-11-19

申请号：CN201410355834.4

申请日：2009-08-31

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 寺谷直美 ,  胜田佑司 ,  小林义政

IPC: C04B35/10 ,  C04B35/645

CPC classification number: C04B35/111 ,  C04B35/62655 ,  C04B35/645 ,  C04B2235/3206 ,  C04B2235/3217 ,  C04B2235/3222 ,  C04B2235/3224 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/3227 ,  C04B2235/3229 ,  C04B2235/3865 ,  C04B2235/445 ,  C04B2235/5436 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/656 ,  C04B2235/658 ,  C04B2235/6581 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/786 ,  C04B2235/80 ,  C04B2235/85 ,  C04B2235/96 ,  H01L21/6833

Abstract: 本发明提供一种氧化铝烧结体。该氧化铝烧结体可以调整到库仑型和约翰逊拉别克型之间的体积电阻率而且耐腐蚀性优异。本发明的氧化铝烧结体是在作为主成分的氧化铝粒子彼此之间层状地存在含有稀土元素和氟元素的相的烧结体，或者是沿着作为主成分的氧化铝粒子彼此的棱层状地存在含有稀土元素和氟元素的相的烧结体。对于该氧化铝烧结体，观察SEM图像时，含有稀土元素和氟元素的相在氧化铝粒子彼此之间不是局部地形成点存在，而是以形成线段的方式存在。另外，本发明的氧化铝烧结体可以容易地将由在室温施加2kV/mm电压经1分钟后的电流值算出的体积电阻率调整到1×1013～1×1016Ω·cm的范围。