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公开(公告)号：CN1056165A
公开(公告)日：1991-11-13
申请号：CN91102921.4
申请日：1991-04-27
Applicant: 日本钢管株式会社
CPC classification number: G01B11/105 , Y10T117/1004
Abstract: 本发明涉及一种测定单晶硅直径的方法和设备。在用CZ法提拉单晶的一规定转动周期的间隔内，用光学装置对熔融环的亮度分布进行取样，由此得出该提拉单晶的直径测定值，再用低通滤波器处理该直径测定值，以产生转换成时序直径数据的滤波器输出值，然后求出滤波器输出值的移动平均值，从而计算出直径值。本发明涉及的设备包括能完成上述测定方法的光学装置、一低通滤波器和计算装置。
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