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公开(公告)号：CN110967620B
公开(公告)日：2022-07-22
申请号：CN201910922675.4
申请日：2019-09-27
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种探针卡保持件，能够避免对探针卡上表面的多个电子部件的干扰，能够使用于保持探针卡的操作性更简单且稳定地保持探针卡。在本发明中，板状的框架部在板状构件的中央部具有与探针卡相同程度的开口部，所述探针卡保持件具备：多个卡下表面保持部，其在框架部的开口部的周缘部一边施力一边保持探针卡的下表面；以及多个卡上表面支承部，其设置在框架部的下表面并对探针卡的上表面进行支承，各卡下表面保持部具有：L字构件，其具有基部和下表面支承部；旋钮部，其与基部的顶端部连结；以及施力构件，其设置在旋钮部与框架部的上表面之间，相对于框架部下表面对下表面支承部向上施力。
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公开(公告)号：CN103852607A
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201310626022.4
申请日：2013-11-28
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
CPC classification number: G01R31/2889 , G01R1/07378
Abstract: 提供一种探针卡和检查装置，以限制探针卡在测试对象检查过程中的变形并且抑制探针卡的平坦度的降低。探针卡是与测试对象接触以执行检查的探针卡，该探针卡具有：探针基板，其在第一表面上设置有多个探针并且在第二表面上设置有多个固定件接收部；以及支撑体，其被布置成支撑探针基板的外周，在探针基板的第二表面上，在探针存在区域内至少配置有彼此等距离地规则布置的多个固定件接收部。
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公开(公告)号：CN110967620A
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201910922675.4
申请日：2019-09-27
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种探针卡保持件，能够避免对探针卡上表面的多个电子部件的干扰，能够使用于保持探针卡的操作性更简单且稳定地保持探针卡。在本发明中，板状的框架部在板状构件的中央部具有与探针卡相同程度的开口部，所述探针卡保持件具备：多个卡下表面保持部，其在框架部的开口部的周缘部一边施力一边保持探针卡的下表面；以及多个卡上表面支承部，其设置在框架部的下表面并对探针卡的上表面进行支承，各卡下表面保持部具有：L字构件，其具有基部和下表面支承部；旋钮部，其与基部的顶端部连结；以及施力构件，其设置在旋钮部与框架部的上表面之间，相对于框架部下表面对下表面支承部向上施力。
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公开(公告)号：CN103852607B
公开(公告)日：2017-05-03
申请号：CN201310626022.4
申请日：2013-11-28
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
CPC classification number: G01R31/2889 , G01R1/07378
Abstract: 提供一种探针卡和检查装置，以限制探针卡在测试对象检查过程中的变形并且抑制探针卡的平坦度的降低。探针卡是与测试对象接触以执行检查的探针卡，该探针卡具有：探针基板，其在第一表面上设置有多个探针并且在第二表面上设置有多个固定件接收部；以及支撑体，其被布置成支撑探针基板的外周，在探针基板的第二表面上，在探针存在区域内至少配置有彼此等距离地规则布置的多个固定件接收部。
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