公开(公告)号：CN118803522A

公开(公告)日：2024-10-18

申请号：CN202410426406.X

申请日：2024-04-10

申请人： 株式会社电装 ,  丰田自动车株式会社 ,  未来瞻科技株式会社 ,  日清纺微电子株式会社

发明人： 樱井悠也 ,  山田英雄 ,  桝本尚己 ,  高桥宏 ,  挂札尚 ,  臼井孝英

IPC分类号： H04R17/02

摘要： 压电元件具备基板(10)、层叠于基板的下部电极(12)、层叠于下部电极的压电膜(13，15)、以及层叠于压电膜的上部电极(16)。通过在基板中的与下部电极相反侧的面上形成的凹部(17)、和将下部电极、压电膜、上部电极贯通的贯通孔(19)，形成由下部电极、压电膜、上部电极构成且被悬臂支承于基板的多个薄膜部(181，182，183，184)，多个薄膜部中的至少2个薄膜部的共振频率相互不同。

公开(公告)号：CN118575488A

公开(公告)日：2024-08-30

申请号：CN202380017458.5

申请日：2023-02-09

申请人： 日清纺微电子株式会社

发明人： 黑丸好光 ,  幸田义行 ,  前田洁 ,  高桥宏 ,  山本启太 ,  木下淳

IPC分类号： H04R19/04

摘要： 一种MEMS元件，该MEMS元件具备：基板(1)，其具备后腔室(9)；振动膜(3)，其包含接合在基板(1)上的可动电极；以及背板(7)，其包含与可动电极相对配置的固定电极(5)，在振动膜(3)形成有与背板(7)连结的壁(10A)、狭缝(11a、11b)以及多个振动部(12A、12B)，多个振动部(12A、12B)存在于由壁(10A)与振动膜(3)的接合部包围的区域或壁(10A)与振动膜(3)的接合部和振动膜(3)的周缘部之间的区域中的任一个，至少一个振动部存在于壁(10A)与振动膜(3)的接合部和振动膜(3)的周缘部之间的区域。