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公开(公告)号:CN105425544A
公开(公告)日:2016-03-23
申请号:CN201511030860.0
申请日:2009-04-24
Applicant: 日立化成工业株式会社
Abstract: 本发明涉及感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图形的形成方法及印刷电路板的制造方法。本发明提供一种感光性树脂组合物,其含有(A)粘合剂聚合物、(B)分子内具有乙烯性不饱和键的光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂及(D)阻聚剂,其中,(D)阻聚剂的含有量以组合物中的固体成分总量作为基准为20~100质量ppm。
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公开(公告)号:CN102981357A
公开(公告)日:2013-03-20
申请号:CN201210325546.5
申请日:2012-09-05
Applicant: 日立化成工业株式会社
Abstract: 本发明提供感光性树脂组合物、感光性元件及抗蚀剂图案的形成方法。该抗蚀剂图案的形成方法具备:在基板上形成含有粘合剂聚合物、具有烯键式不饱和键的聚合性化合物以及由下述通式(1)表示的光聚合引发剂的感光性树脂组合物层的工序;曝光工序,该工序在所述感光性树脂组合物层的至少一部分区域中,将在以碳弧灯、水银蒸气弧灯、超高压水银灯、高压水银灯或者氙灯作为光源的光中的波长为350nm以下的光的至少一部分被除去后的活性光线以图案状进行直接描绘,从而形成光固化部;和显影工序,该工序除去所述光固化部以外的区域。式(1)中,R1表示卤原子、氨基、羧基、烷基、烷氧基或者烷基氨基。m表示0~5的整数。
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公开(公告)号:CN102007451A
公开(公告)日:2011-04-06
申请号:CN200980113322.4
申请日:2009-04-24
Applicant: 日立化成工业株式会社
CPC classification number: G03F7/027 , G03F7/0045
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物,其含有(A)粘合剂聚合物、(B)分子内具有乙烯性不饱和键的光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂及(D)阻聚剂,其中,(D)阻聚剂的含有量以组合物中的固体成分总量作为基准为20~100质量ppm。
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公开(公告)号:CN103792788A
公开(公告)日:2014-05-14
申请号:CN201310752058.7
申请日:2009-04-24
Applicant: 日立化成工业株式会社
CPC classification number: G03F7/027 , G03F7/0045
Abstract: 本发明涉及感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图形的形成方法及印刷电路板的制造方法。本发明提供一种感光性树脂组合物,其含有(A)粘合剂聚合物、(B)分子内具有乙烯性不饱和键的光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂及(D)阻聚剂,其中,(D)阻聚剂的含有量以组合物中的固体成分总量作为基准为20~100质量ppm。
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公开(公告)号:CN102754032A
公开(公告)日:2012-10-24
申请号:CN201080063100.9
申请日:2010-12-14
Applicant: 日立化成工业株式会社
Abstract: 一种感光性树脂组合物,其含有(A)粘合剂聚合物、(B)光聚合性化合物和(C)光聚合引发剂,(B)光聚合性化合物含有下述通式(I)所示的化合物,所述感光性树脂组合物在利用直接描绘法的抗蚀图形的形成中使用。(式中,R1和R2各自独立地表示氢原子或甲基,n表示0~50的整数)。
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公开(公告)号:CN102375341A
公开(公告)日:2012-03-14
申请号:CN201110219271.2
申请日:2011-07-28
Applicant: 日立化成工业株式会社
Abstract: 本发明提供光灵敏度、盖孔可靠性、密合性和析像度优异的感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图形的制造方法、印刷线路板的制造方法、引线框的制造方法以及印刷线路板。所述感光性树脂组合物含有(A)粘合剂聚合物、(B)至少具有一个乙烯性不饱和键的光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂、和(D)增感色素,其中,上述(B)成分含有具有来自于二季戊四醇的骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物,上述(D)成分含有吡唑啉化合物。
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公开(公告)号:CN102341753A
公开(公告)日:2012-02-01
申请号:CN201080010276.8
申请日:2010-02-23
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: G03F7/031 , C08F2/44 , C08F2/50 , C08F20/36 , G03F7/004 , G03F7/027 , G03F7/029 , G03F7/033 , H05K3/06 , H05K3/18
Abstract: 本发明涉及一种感光性树脂组合物,其为含有(A)粘合剂聚合物、(B)具有烯键式不饱和键的光聚合性化合物及(C)光聚合引发剂的感光性树脂组合物,其中,(C)光聚合引发剂含有下述通式(1)所示的化合物。式(1)中,R1表示卤素原子、氨基、羧基、碳数为1~6的烷基、碳数为1~6的烷氧基或碳数为1~6的烷基氨基,m表示1~5的整数。
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公开(公告)号:CN102037406A
公开(公告)日:2011-04-27
申请号:CN200980118082.7
申请日:2009-04-24
Applicant: 日立化成工业株式会社
CPC classification number: C08F2/50 , C08F220/14 , G03F7/027 , G03F7/031 , C08F212/08 , C08F220/06 , C08F220/18
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物,其为含有(A)粘合剂聚合物、(B)分子内具有乙烯性不饱和键的光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂和(D)阻聚剂的感光性树脂组合物,其中,(C)光聚合引发剂包含吖啶化合物,(D)阻聚剂的含量为20~100质量ppm。
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公开(公告)号:CN102375341B
公开(公告)日:2016-04-06
申请号:CN201110219271.2
申请日:2011-07-28
Applicant: 日立化成工业株式会社
Abstract: 本发明提供光灵敏度、盖孔可靠性、密合性和析像度优异的感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图形的制造方法、印刷线路板的制造方法、引线框的制造方法以及印刷线路板。所述感光性树脂组合物含有(A)粘合剂聚合物、(B)至少具有一个乙烯性不饱和键的光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂、和(D)增感色素,其中,上述(B)成分含有具有来自于二季戊四醇的骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物,上述(D)成分含有吡唑啉化合物。
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