公开(公告)号：CN101064108A

公开(公告)日：2007-10-31

申请号：CN200710101864.2

申请日：2007-04-25

申请人： 日立环球储存科技荷兰有限公司

发明人： 哈密德·巴拉曼尼 ,  克里斯琴·R·邦霍特 ,  徐一民 ,  阿伦·纽豪斯 ,  阿伦·彭特克 ,  郑义

IPC分类号： G11B5/127 ,  G11B5/187

CPC分类号： G11B5/3163 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/3116 ,  Y10T29/49021 ,  Y10T29/49032 ,  Y10T29/49043 ,  Y10T29/49044 ,  Y10T29/49046 ,  Y10T29/49048 ,  Y10T29/49052

摘要： 本发明提供一种制造用于垂直磁记录的具有写极的磁写头的方法，所述写极具有非常窄的道宽和良好控制的临界尺寸。写极通过以下工艺形成。在所述衬底上沉积导电籽层，然后在所述籽层上沉积光致抗蚀剂材料层。光刻地曝光和显影该光致抗蚀剂层从而在所述光致抗蚀剂层中形成开口或槽，所述开口定义写极图案。然后电镀磁材料到所述光致抗蚀剂层中的开口中。然后通过化学顶离去除光致抗蚀剂层，并通过离子研磨去除所述籽层的未被所述写极覆盖的部分。