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公开(公告)号：CN1514251A
公开(公告)日：2004-07-21
申请号：CN200310118816.6
申请日：2003-11-28
申请人： 日立金属株式会社
CPC分类号： G01P15/18 , G01P1/023 , G01P15/0802 , G01P15/123 , G01P2015/084
摘要： 一种加速度传感器，其中，调节板通过粘接剂固定在传感器的传感器芯片的支承框架上，以便将传感器芯片的块部分的运动限制在预定间隙范围内。在加速度传感器中，粘接剂的粘接面积控制为预定值，以防止灵敏度由于粘接面积的变化而变化。该传感器芯片包括：块部分；框架，该厚框架包围块部分，并在该框架的上表面上有多个凹口，以便装入粘接剂；弹性支承臂，这些弹性支承臂桥接块部分和框架；以及应变仪，该应变仪形成于弹性支承臂上。调节板通过浆糊固定在该框架上。且与该块部分的上表面之间有预定间隙。该浆糊包含与粘接剂混合的硬塑料球，该硬塑料球的直径大于该预定间隙。该粘接剂优选是硅橡胶树脂。
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公开(公告)号：CN1438506A
公开(公告)日：2003-08-27
申请号：CN02152753.9
申请日：2002-11-27
申请人： 日立金属株式会社
CPC分类号： G02B5/288
摘要： 公开了一种用于光学复用器/解复用器的高度可靠的薄膜滤波器，其中在光学薄膜中几乎不出现诸如缺口或裂缝的缺陷。该薄膜滤波器包括一玻璃基板和形成于该玻璃基板表面上的光学薄膜。在垂直于玻璃基板表面的平面上，在光学薄膜侧面与玻璃基板表面间的交点处，该光学薄膜的侧面与玻璃基板成一锐角，最好为6至60°的角。在玻璃基板表面上形成光学薄膜，并且通过干蚀刻形成光学薄膜侧面后，用切块机之类切割该玻璃基板，制造出单个薄膜滤波器元件。由于在切割玻璃基板期间并不切割光学薄膜，故在光学薄膜侧面上不会出现诸如缺口或裂缝的缺陷。由于它形成一斜面，所以该光学薄膜侧面基本上没有缺口或裂缝。
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公开(公告)号：CN100351631C
公开(公告)日：2007-11-28
申请号：CN200310118816.6
申请日：2003-11-28
申请人： 日立金属株式会社
CPC分类号： G01P15/18 , G01P1/023 , G01P15/0802 , G01P15/123 , G01P2015/084
摘要： 一种加速度传感器，其中，调节板通过粘接剂固定在传感器的传感器芯片的支承框架上，以便将传感器芯片的块部分的运动限制在预定间隙范围内。在加速度传感器中，粘接剂的粘接面积控制为预定值，以防止灵敏度由于粘接面积的变化而变化。该传感器芯片包括：块部分；框架，该厚框架包围块部分，并在该框架的上表面上有多个凹口，以便装入粘接剂；弹性支承臂，这些弹性支承臂桥接块部分和框架；以及应变仪，该应变仪形成于弹性支承臂上。调节板通过浆糊固定在该框架上。且与该块部分的上表面之间有预定间隙。该浆糊包含与粘接剂混合的硬塑料球，该硬塑料球的直径大于该预定间隙。该粘接剂优选是硅橡胶树脂。
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公开(公告)号：CN1228657C
公开(公告)日：2005-11-23
申请号：CN02152753.9
申请日：2002-11-27
申请人： 日立金属株式会社
CPC分类号： G02B5/288
摘要： 公开了一种用于光学复用器/解复用器的高度可靠的薄膜滤波器，其中在光学薄膜中几乎不出现诸如缺口或裂缝的缺陷。该薄膜滤波器包括一玻璃基板和形成于该玻璃基板表面上的光学薄膜。在垂直于玻璃基板表面的平面上，在光学薄膜侧面与玻璃基板表面间的交点处，该光学薄膜的侧面与玻璃基板成一锐角，最好为6至60°的角。在玻璃基板表面上形成光学薄膜，并且通过干蚀刻形成光学薄膜侧面后，用切块机之类切割该玻璃基板，制造出单个薄膜滤波器元件。由于在切割玻璃基板期间并不切割光学薄膜，故在光学薄膜侧面上不会出现诸如缺口或裂缝的缺陷。由于它形成一斜面，所以该光学薄膜侧面基本上没有缺口或裂缝。
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