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公开(公告)号：CN101122611A
公开(公告)日：2008-02-13
申请号：CN200710140744.3
申请日：2007-08-09
申请人： 日立金属株式会社
摘要： 公开了一种多量程三轴加速度传感器装置，其中多个三轴加速度传感器元件在其间没有轴偏差的情况下形成于单个硅芯片中并具有不同的加速度测量量程。多个传感器元件中每个都包括配重、围绕配重的框架、以及连接配重与框架的由梁或隔膜构成的挠性构件。多个传感器元件中每个都产生彼此不同的对单位加速度的输出电压。多个传感器元件中的第一三轴加速度传感器元件使其它传感器元件形成在第一三轴加速度传感器元件的框架中，并产生比其它传感器元件大的对单位加速度的输出电压。
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公开(公告)号：CN100351631C
公开(公告)日：2007-11-28
申请号：CN200310118816.6
申请日：2003-11-28
申请人： 日立金属株式会社
CPC分类号： G01P15/18 , G01P1/023 , G01P15/0802 , G01P15/123 , G01P2015/084
摘要： 一种加速度传感器，其中，调节板通过粘接剂固定在传感器的传感器芯片的支承框架上，以便将传感器芯片的块部分的运动限制在预定间隙范围内。在加速度传感器中，粘接剂的粘接面积控制为预定值，以防止灵敏度由于粘接面积的变化而变化。该传感器芯片包括：块部分；框架，该厚框架包围块部分，并在该框架的上表面上有多个凹口，以便装入粘接剂；弹性支承臂，这些弹性支承臂桥接块部分和框架；以及应变仪，该应变仪形成于弹性支承臂上。调节板通过浆糊固定在该框架上。且与该块部分的上表面之间有预定间隙。该浆糊包含与粘接剂混合的硬塑料球，该硬塑料球的直径大于该预定间隙。该粘接剂优选是硅橡胶树脂。
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公开(公告)号：CN1851474B
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN200610004152.4
申请日：2006-02-20
申请人： 日立金属株式会社
CPC分类号： G01P3/22 , G01P15/0891 , G01P15/18 , G01P2015/084 , G11B19/04 , H04M2250/12
摘要： 本发明提供一种下落检测装置，可以检测伴随有旋转的下落。其根据加速度检测部输出的加速度信号的波形、或者角速度检测部输出的角速度信号来检测伴随有旋转的下落。此外，根据加速度检测部检测的加速度和角速度检测部检测的角速度算出保护对象机器的重心点加速度。由此，即使在保护对象机器旋转下落的情况下，也可以通过所检测的加速度或者角速度检测机器的下落。此外，通过运算不受旋转影响的重心点加速度，即使保护对象机器旋转也可以高精度地检测机器的下落。
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公开(公告)号：CN100373161C
公开(公告)日：2008-03-05
申请号：CN200410079742.4
申请日：2004-09-16
申请人： 日立金属株式会社
IPC分类号： G01P15/12
CPC分类号： G01P15/18 , G01P15/0802 , G01P15/123 , G01P2015/0842
摘要： 一种加速度传感器包括：加速度传感器元件，该加速度传感器元件有位于中心的块部分、环绕该块部分的厚框架、以及桥接该块部分和厚框架的多个弹性支承臂；以及上部调节板，该上部调节板覆盖加速度传感器元件，并通过粘接剂固定在厚框架上。块部分的上表面有：连接部分，该连接部分使块部分与各弹性支承臂连接；布线区域，在该布线区域上有引线；以及非布线区域。非布线区域为块部分的上表面的主要区域，并低于布线区域。上部调节板有与布线区域之间的第一间隙以及与非布线区域之间的第二间隙，该第二间隙的长度比第一间隙的长度、导线厚度以及0.1μm(优选是1.0μm)的总和更长。即使当污染物粘附在块部分上表面上时，也很可能在蚀刻非布线区域时使该污染物从上表面上除去，从而不会由于它们而减小块部分的振幅。
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公开(公告)号：CN1851474A
公开(公告)日：2006-10-25
申请号：CN200610004152.4
申请日：2006-02-20
申请人： 日立金属株式会社
CPC分类号： G01P3/22 , G01P15/0891 , G01P15/18 , G01P2015/084 , G11B19/04 , H04M2250/12
摘要： 本发明提供一种下落检测装置，可以检测伴随有旋转的下落。其根据加速度检测部输出的加速度信号的波形、或者角速度检测部输出的角速度信号来检测伴随有旋转的下落。此外，根据加速度检测部检测的加速度和角速度检测部检测的角速度算出保护对象机器的重心点加速度。由此，即使在保护对象机器旋转下落的情况下，也可以通过所检测的加速度或者角速度检测机器的下落。此外，通过运算不受旋转影响的重心点加速度，即使保护对象机器旋转也可以高精度地检测机器的下落。
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公开(公告)号：CN1514251A
公开(公告)日：2004-07-21
申请号：CN200310118816.6
申请日：2003-11-28
申请人： 日立金属株式会社
CPC分类号： G01P15/18 , G01P1/023 , G01P15/0802 , G01P15/123 , G01P2015/084
摘要： 一种加速度传感器，其中，调节板通过粘接剂固定在传感器的传感器芯片的支承框架上，以便将传感器芯片的块部分的运动限制在预定间隙范围内。在加速度传感器中，粘接剂的粘接面积控制为预定值，以防止灵敏度由于粘接面积的变化而变化。该传感器芯片包括：块部分；框架，该厚框架包围块部分，并在该框架的上表面上有多个凹口，以便装入粘接剂；弹性支承臂，这些弹性支承臂桥接块部分和框架；以及应变仪，该应变仪形成于弹性支承臂上。调节板通过浆糊固定在该框架上。且与该块部分的上表面之间有预定间隙。该浆糊包含与粘接剂混合的硬塑料球，该硬塑料球的直径大于该预定间隙。该粘接剂优选是硅橡胶树脂。
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公开(公告)号：CN1508547A
公开(公告)日：2004-06-30
申请号：CN200310122386.5
申请日：2003-12-19
申请人： 日立金属株式会社
CPC分类号： G01P15/18 , B81B3/0072 , B81B2201/0235 , B81B2203/0109 , B81B2203/051 , G01P15/0802 , G01P15/123 , G01P2015/084
摘要： 公开了一种即使受到一个在通常处理时可能产生的冲击，弹性支承臂也不断裂的结构的加速度传感器。这种加速度传感器具有一个块状部分、一个固定在块状部分上的块状部分顶片、一个包围块状部分的厚的矩形支承框架、一个固定在框架上的框架顶片、和四个将块状部分悬挂在框架中心的并桥接块状部分顶片和框架顶片的弹性支承臂。在块状部分侧表面和框架内表面上在支承臂的正下方形成横向槽。由于这些槽，块状部分顶片和框架顶片具有它们的粘结在块状部分/框架上的部分和它们的向支承臂凸出的部分。在粘结部分和凸出部分之间的边界处的横截面大于把凸出部分连接到支承臂上的横截面。因为由从外面施加的冲击在块状部分/框架上引起的应变不是直接传递到支承臂上，并且在具有大于支承臂的横截面积的凸出部分被释放，因此防止了弹性支承臂的断裂。
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公开(公告)号：CN101765776A
公开(公告)日：2010-06-30
申请号：CN200880100793.7
申请日：2008-06-25
申请人： 日立金属株式会社
CPC分类号： G01P15/18 , G01P15/123 , G01P2015/0842 , H01L24/45 , H01L2224/32145 , H01L2224/32245 , H01L2224/45015 , H01L2224/45144 , H01L2224/48091 , H01L2224/48145 , H01L2224/48247 , H01L2224/73265 , H01L2924/1461 , H01L2924/181 , H01L2924/3025 , H01L2924/00014 , H01L2924/00 , H01L2924/20752 , H01L2924/00012
摘要： 本发明实现一种灵敏度等特性相对于施加在传感器芯片上的干扰力难以变动的加速度传感器。加速度传感器具有经由支承框和挠性梁支承在支承框内的重锤、设置于梁的半导体压阻元件、将它们连接起来的配线，根据压阻元件的电阻变化来检测加速度。在梁的形成有压阻元件的部分以外的部分设有应力缓冲部。应力缓冲部关于梁的长度中心线和宽度中心线对称。即使干扰力沿梁整体延伸的方向施加于传感器元件，也可以由应力缓冲部来吸收干扰力。由于梁整体延伸的方向的应力难以变化，因此梁的易变形度也难以变化，能够降低干扰力的影响造成的灵敏度变化。
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公开(公告)号：CN100347863C
公开(公告)日：2007-11-07
申请号：CN200310122386.5
申请日：2003-12-19
申请人： 日立金属株式会社
CPC分类号： G01P15/18 , B81B3/0072 , B81B2201/0235 , B81B2203/0109 , B81B2203/051 , G01P15/0802 , G01P15/123 , G01P2015/084
摘要： 本发明公开了一种即使受到一个在通常处理时可能产生的冲击，弹性支承臂也不断裂的结构的加速度传感器。这种加速度传感器具有一个块状部分、一个固定在块状部分上的块状部分顶片、一个包围块状部分的厚的矩形支承框架、一个固定在框架上的框架顶片、和四个将块状部分悬挂在框架中心的并桥接块状部分顶片和框架顶片的弹性支承臂。在块状部分侧表面和框架内表面上在支承臂的正下方形成横向槽。由于这些槽，块状部分顶片和框架顶片具有它们的粘结在块状部分/框架上的部分和它们的向支承臂凸出的部分。在粘结部分和凸出部分之间的边界处的横截面大于把凸出部分连接到支承臂上的横截面，以及，块状部分顶片、框架顶片和弹性支承臂具有相同的厚度。因为由从外面施加的冲击在块状部分/框架上引起的应变不是直接传递到支承臂上，并且在具有大于支承臂的横截面积的凸出部分被释放，因此防止了弹性支承臂的断裂。
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公开(公告)号：CN1776434A
公开(公告)日：2006-05-24
申请号：CN200510131590.2
申请日：2005-09-29
申请人： 日立金属株式会社
CPC分类号： G01P15/18 , G01P15/0802 , G01P15/123
摘要： 公开了一种半导体加速度传感器，其在X、Y和Z轴之中的加速度检测灵敏度上具有较小的差异，并且具有较高的检测灵敏度。该加速度传感器具有在其中心的块部分，围绕该块部分的支撑框架，以及连接该块部分和支撑框架的多个挠性臂。挠性臂在两端具有宽部，以及在该宽却之间的窄部。压电电阻限制地提供在该挠性臂的宽部的顶面区域内，并且在该块部分/支撑框架上布置连接金属线和压电电阻的通孔。该多个挠性臂相对于该块部分的中心是对称的，并且每个挠性臂相对于该挠性臂的中心线是对称的。
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