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公开(公告)号：CN100334453C
公开(公告)日：2007-08-29
申请号：CN03108214.9
申请日：2003-03-25
Applicant: 日立金属株式会社
CPC classification number: G01P15/123 , G01P15/18 , G01P2015/084
Abstract: 本发明提供了一种具有很高灵敏度的超微半导体加速度传感器。该加速度传感器有：块状部分，该块状部分在硅半导体基体的中心部分；框架，该框架形成于基体的边缘部分上；薄弹性支承臂，该薄弹性支承臂在该块状部分和框架的顶表面上，并连接该块状部分和框架；以及应变仪，该应变仪由形成于弹性支承臂的顶表面上的多对压敏电阻器构成。在弹性支承臂顶表面上的一对Z轴方向应变仪之间的距离比一对X轴方向应变仪之间的距离长0.4L至1.2L，或者短1.0L至1.8L，从而使Z轴方向应变仪的输出与X轴方向应变仪的输出为相同水平。也可选择，由Z轴方向应变仪与X轴方向所形成的角度为10至30度或65至90度，因此，Z轴方向应变仪的输出与X轴方向应变仪的输出为相同水平。
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公开(公告)号：CN1841072A
公开(公告)日：2006-10-04
申请号：CN200610077026.1
申请日：2003-03-25
Applicant: 日立金属株式会社
CPC classification number: G01P2015/084
Abstract: 本发明提供了一种具有很高灵敏度的超微半导体加速度传感器。该加速度传感器有：块状部分，该块状部分在硅半导体基体的中心部分；框架，该框架形成于基体的边缘部分上；薄弹性支承臂，该薄弹性支承臂在该块状部分和框架的顶表面上，并连接该块状部分和框架；以及应变仪，该应变仪由形成于弹性支承臂的顶表面上的多对压敏电阻器构成。在弹性支承臂顶表面上的一对Z轴方向应变仪之间的距离比一对X轴方向应变仪之间的距离长0.4L至1.2L，或者短1.0L至1.8L，从而使Z轴方向应变仪的输出与X轴方向应变仪的输出为相同水平。也可选择，由Z轴方向应变仪与X轴方向所形成的角度为10至30度或65至90度，因此，Z轴方向应变仪的输出与X轴方向应变仪的输出为相同水平。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100373161C
公开(公告)日：2008-03-05
申请号：CN200410079742.4
申请日：2004-09-16
Applicant: 日立金属株式会社
IPC: G01P15/12
CPC classification number: G01P15/18 , G01P15/0802 , G01P15/123 , G01P2015/0842
Abstract: 一种加速度传感器包括：加速度传感器元件，该加速度传感器元件有位于中心的块部分、环绕该块部分的厚框架、以及桥接该块部分和厚框架的多个弹性支承臂；以及上部调节板，该上部调节板覆盖加速度传感器元件，并通过粘接剂固定在厚框架上。块部分的上表面有：连接部分，该连接部分使块部分与各弹性支承臂连接；布线区域，在该布线区域上有引线；以及非布线区域。非布线区域为块部分的上表面的主要区域，并低于布线区域。上部调节板有与布线区域之间的第一间隙以及与非布线区域之间的第二间隙，该第二间隙的长度比第一间隙的长度、导线厚度以及0.1μm(优选是1.0μm)的总和更长。即使当污染物粘附在块部分上表面上时，也很可能在蚀刻非布线区域时使该污染物从上表面上除去，从而不会由于它们而减小块部分的振幅。
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公开(公告)号：CN1447120A
公开(公告)日：2003-10-08
申请号：CN03108214.9
申请日：2003-03-25
Applicant: 日立金属株式会社
CPC classification number: G01P15/123 , G01P15/18 , G01P2015/084
Abstract: 本发明提供了一种具有很高灵敏度的超微半导体加速度传感器。该加速度传感器有：块状部分，该块状部分在硅半导体基体的中心部分；框架，该框架形成于基体的边缘部分上；薄弹性支承臂，该薄弹性支承臂在该块状部分和框架的顶表面上，并连接该块状部分和框架；以及应变仪，该应变仪由形成于弹性支承臂的顶表面上的多对压敏电阻器构成。在弹性支承臂顶表面上的一对Z轴方向应变仪之间的距离比一对X轴方向应变仪之间的距离长0.4L至1.2L，或者短1.0L至1.8L，从而使Z轴方向应变仪的输出与X轴方向应变仪的输出为相同水平。也可选择，由Z轴方向应变仪与X轴方向所形成的角度为10至30度或65至90度，因此，Z轴方向应变仪的输出与X轴方向应变仪的输出为相同水平。
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公开(公告)号：CN100422697C
公开(公告)日：2008-10-01
申请号：CN200610077026.1
申请日：2003-03-25
Applicant: 日立金属株式会社
CPC classification number: G01P2015/084
Abstract: 本发明提供了一种具有很高灵敏度的超微半导体加速度传感器。该加速度传感器有：块状部分，该块状部分在硅半导体基体的中心部分；框架，该框架形成于基体的边缘部分上；薄弹性支承臂，该薄弹性支承臂在该块状部分和框架的顶表面上，并连接该块状部分和框架；以及应变仪，该应变仪由形成于弹性支承臂的顶表面上的多对压敏电阻器构成。在弹性支承臂顶表面上的一对Z轴方向应变仪之间的距离比一对X轴方向应变仪之间的距离长0.4L至1.2L，或者短1.0L至1.8L，从而使Z轴方向应变仪的输出与X轴方向应变仪的输出为相同水平。也可选择，由Z轴方向应变仪与X轴方向所形成的角度为10至30度或65至90度，因此，Z轴方向应变仪的输出与X轴方向应变仪的输出为相同水平。
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公开(公告)号：CN1908676A
公开(公告)日：2007-02-07
申请号：CN200610110069.5
申请日：2006-08-04
Applicant: 日立金属株式会社
IPC: G01P15/12
Abstract: 一种加速度传感器，实现了高耐冲击性，即使是当过大的加速度或冲击作用于加速度传感器时，加速度传感器元件的重体底面也不会与由陶瓷、玻璃或硅制成的保护外壳的内底板直接碰撞，避免了加速度传感器元件的重体底面的边缘和角的碎裂。该加速度传感器包含加速度传感器元件以及安装该加速度传感器元件的保护外壳，加速度传感器元件在中心具有当施加加速度时像钟摆一样工作的重体。保护外壳的内底板作为调节板工作，以防止重体向下过大摆动。在重体的底面或保护外壳的内底板上提供有金属层或树脂层的冲击缓冲材料。
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公开(公告)号：CN1598596A
公开(公告)日：2005-03-23
申请号：CN200410079742.4
申请日：2004-09-16
Applicant: 日立金属株式会社
IPC: G01P15/12
CPC classification number: G01P15/18 , G01P15/0802 , G01P15/123 , G01P2015/0842
Abstract: 一种加速度传感器包括：加速度传感器元件，该加速度传感器元件有位于中心的块部分、环绕该块部分的厚框架、以及桥接该块部分和厚框架的多个弹性支承臂；以及上部调节板，该上部调节板覆盖加速度传感器元件，并通过粘接剂固定在厚框架上。块部分的上表面有：连接部分，该连接部分使块部分与各弹性支承臂连接；布线区域，在该布线区域上有引线；以及非布线区域。非布线区域为块部分的上表面的主要区域，并低于布线区域。上部调节板有与布线区域之间的第一间隙以及与非布线区域之间的第二间隙，该第二间隙的长度比第一间隙的长度、导线厚度以及0.1μm(优选是1.0μm)的总和更长。即使当污染物粘附在块部分上表面上时，也很可能在蚀刻非布线区域时使该污染物从上表面上除去，从而不会由于它们而减小块部分的振幅。
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