公开(公告)号：CN103477283B

公开(公告)日：2017-03-01

申请号：CN201180069663.3

申请日：2011-03-29

申请人： 旭化成株式会社

发明人： 姬田优香理 ,  井出阳一郎

IPC分类号： G03F7/033 ,  G03F7/027 ,  G03F7/029

CPC分类号： G03F7/027 ,  G03F7/031 ,  G03F7/033

摘要： 本发明提供了作为抗蚀剂或抗镀覆剂等抗蚀材料的具有优异的分辨率和密合性的感光性树脂组合物。本发明的感光性树脂组合物特征在于，含有（A）粘结剂聚合物：20～90重量%、（B）光聚合性化合物：5～75重量%和（C）光聚合引发剂：0.01～30重量%，所述（A）粘结剂聚合物是通过使羧酸或羧酸酐的第一单体与具有1个聚合性不饱和基团且非酸性的第二单体共聚而获得的重均分子量5,000～100,000的共聚物，所述（B）光聚合性化合物是加聚性单体，且对上述感光性树脂组合物进行曝光、接着进行显影后获得的感光性树脂层的水接触角超过60°、且杨氏模量为1.5GPa以上且低于4GPa。