公开(公告)号：CN103477283B

公开(公告)日：2017-03-01

申请号：CN201180069663.3

申请日：2011-03-29

申请人： 旭化成株式会社

发明人： 姬田优香理 ,  井出阳一郎

IPC分类号： G03F7/033 ,  G03F7/027 ,  G03F7/029

CPC分类号： G03F7/027 ,  G03F7/031 ,  G03F7/033

摘要： 本发明提供了作为抗蚀剂或抗镀覆剂等抗蚀材料的具有优异的分辨率和密合性的感光性树脂组合物。本发明的感光性树脂组合物特征在于，含有（A）粘结剂聚合物：20～90重量%、（B）光聚合性化合物：5～75重量%和（C）光聚合引发剂：0.01～30重量%，所述（A）粘结剂聚合物是通过使羧酸或羧酸酐的第一单体与具有1个聚合性不饱和基团且非酸性的第二单体共聚而获得的重均分子量5,000～100,000的共聚物，所述（B）光聚合性化合物是加聚性单体，且对上述感光性树脂组合物进行曝光、接着进行显影后获得的感光性树脂层的水接触角超过60°、且杨氏模量为1.5GPa以上且低于4GPa。

公开(公告)号：CN116368510A

公开(公告)日：2023-06-30

申请号：CN202180074418.5

申请日：2021-10-29

申请人： 旭化成株式会社

发明人： 井出阳一郎 ,  米久保秀明 ,  齐藤隆浩 ,  堀江直树 ,  石井岳史

IPC分类号： G06Q50/26

摘要： 提供一种用于支持资源的循环再生的新颖的技术。一种认证方法，是由计算机系统执行的循环再生品的认证方法，包括以下工序：第一获取工序，获取树脂产品的制造主体中的循环再生树脂的流入量的信息；第二获取工序，获取所述制造主体或不同的制造主体中的使用了所述循环再生树脂的树脂产品的流出量的信息；以及认证工序，在满足基于所述流出量和所述流入量的信息得到的认证条件的情况下，对所述树脂产品标注认证。

公开(公告)号：CN102937776B

公开(公告)日：2017-04-19

申请号：CN201210291125.5

申请日：2008-12-15

申请人： 旭化成株式会社

发明人： 井出阳一郎

IPC分类号： G03F7/11 ,  G03F7/00 ,  G03F7/032 ,  G03F7/033

CPC分类号： G03F7/027 ,  G03F7/161

摘要： 本发明提供一种负型感光性树脂层压体，其为用于通过使用投影光掩模像的i射线单色光并隔着透镜对负型感光性树脂层进行曝光而形成抗蚀剂固化物的负型感光性树脂层压体，其至少具有支撑体(A)和i射线单色曝光用的负型感光性树脂层(B)，前述负型感光性树脂层(B)由i射线单色曝光用的负型感光性树脂组合物形成，所述i射线单色曝光用的负型感光性树脂组合物含有：(a)羧基含量以酸当量计为100~600、且重均分子量在5000~500000之间的粘结剂用树脂20~90质量%、(b)可光聚合的不饱和化合物3~70质量%、以及(c)光聚合引发剂0.1~20质量%，并且，该负型感光性树脂层(B)在波长365nm下的透光率为25%以上36%以下。