聚酰亚胺前体、负型感光性树脂组合物和使用其的固化浮雕图案的制造方法

    公开(公告)号:CN116609998A

    公开(公告)日:2023-08-18

    申请号:CN202310124490.5

    申请日:2023-02-16

    Inventor: 藤冈孝亘

    Abstract: 提供聚酰亚胺前体、负型感光性树脂组合物和使用其的固化浮雕图案的制造方法。一种负型感光性树脂组合物,其包含:(A)包含通式(1)所示结构单元的聚酰亚胺前体和(B)溶剂。式(1)中,X1为任选包含杂原子的碳原子数4~40的四价有机基团;Y1为任选包含杂原子的碳原子数6~40的二价有机基团;R1和R2各自独立地为选自由氢原子、任选包含杂原子的碳原子数1~40的一价有机基团和具有杂环结构的一价有机基团组成的组中的1种。R1和R2之中的至少一者为具有杂环结构的一价有机基团,或者,OR1和OR2之中的至少一者是除氢原子之外的构成原子之中的杂原子数的比例为42%以上的一价有机基团。

    负型感光性树脂组合物和固化浮雕图案的制造方法

    公开(公告)号:CN115039029A

    公开(公告)日:2022-09-09

    申请号:CN202180011980.3

    申请日:2021-01-27

    Abstract: 本发明提供一种在铜布线上形成浮雕图案时显示高清晰度、即便固化温度为低温也会充分进行酰亚胺化、能够制造与铜布线的密合性良好的固化浮雕图案的负型感光性树脂组合物,以及使用该负型感光性树脂组合物来制造固化浮雕图案的方法。负型感光性树脂组合物包含:(A)包含特定通式(1)所示结构单元的聚酰亚胺前体、以及(B)光聚合引发剂,所述结构单元包含具有脲结构的1价有机基团。

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