分离回收装置、分离回收方法、显影系统以及显影液再循环方法

    公开(公告)号:CN116848472A

    公开(公告)日:2023-10-03

    申请号:CN202280014789.9

    申请日:2022-02-15

    Abstract: 提供一种分离回收装置,其能够从含有显影残渣的显影废液中以高处理能力且不混入显影残渣地分离回收具有高溶剂浓度的回收液。一种分离回收装置(7),其从含有显影残渣的显影废液中分离溶剂成分并回收,所述分离回收装置具备:废液加热机构,其对显影废液进行加热;雾化室(71),其具有将由废液加热机构加热后的显影废液雾化而生成雾的超声波元件(71B);以及雾回收机构(72),其回收在雾化室(71)中生成的雾。

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