公开(公告)号：CN101052918B

公开(公告)日：2012-09-26

申请号：CN200580030901.4

申请日：2005-07-14

申请人： 旭化成电子材料株式会社

发明人： 田代朋子 ,  佐藤守正 ,  佐佐木义晴 ,  若田裕一 ,  高柳丘

IPC分类号： G03F7/028 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/029 ,  G03F7/031 ,  H01L21/027

CPC分类号： G03F7/031 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/028 ,  G03F7/029 ,  G03F7/0295

摘要： 本发明的目的在于，提供一种感光性组合物、层叠有该感光性组合物的图案形成材料及感光性层叠体、图案形成装置、图案形成方法，其中，所述感光性组合物相对于波长400～410nm的曝光光的灵敏度分布大致一定、图案重现性优良、最大地抑制图案形状的偏差、可以在明室环境下处理。因此，提供一种感光性组合物、层叠有该感光性组合物的图案形成材料，其中，所述感光性组合物在支持体上至少具有感光层，该感光层含有粘合剂、聚合性化合物、光聚合引发剂及增感剂，该感光层在380～420nm的波长域具有光谱灵敏度的最大值，同时，在400nm处可以形成图案的最小曝光量S400为200mJ/cm2以下、在410nm处可以形成图案的最小曝光量S410为200mJ/cm2以下、且满足0.6