公开(公告)号：CN1950750B

公开(公告)日：2012-10-24

申请号：CN200580014721.7

申请日：2005-05-09

申请人： 旭化成电子材料株式会社

发明人： 佐藤守正 ,  田代朋子 ,  高岛正伸 ,  芹泽慎一郎

IPC分类号： G03F7/004

CPC分类号： G03F7/2008 ,  G03F7/0007 ,  G03F7/001 ,  G03F7/029 ,  G03F7/0295 ,  G03F7/031 ,  G03F7/033 ,  G03F7/09

摘要： 本发明的目的是提供能有效地抑制光敏层的感光度下降和能形成高度精细精确图案的图案形成材料、配备该图案形成材料的图案形成设备和使用所述图案形成材料的图案形成方法。为了达到该目的，提供一种图案形成材料，包含载体和载体上的光敏层，其中光敏层包含阻聚剂、粘合剂、可聚合化合物和光聚合引发剂，光敏层利用激光束曝光，利用显影剂显影，形成图案，显影后产生厚度与曝光前的光敏层厚度基本相同的光敏层所需的最小激光束能量为0.1～10mJ/cm2。

公开(公告)号：CN101052918B

公开(公告)日：2012-09-26

申请号：CN200580030901.4

申请日：2005-07-14

申请人： 旭化成电子材料株式会社

发明人： 田代朋子 ,  佐藤守正 ,  佐佐木义晴 ,  若田裕一 ,  高柳丘

IPC分类号： G03F7/028 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/029 ,  G03F7/031 ,  H01L21/027

CPC分类号： G03F7/031 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/028 ,  G03F7/029 ,  G03F7/0295

摘要： 本发明的目的在于，提供一种感光性组合物、层叠有该感光性组合物的图案形成材料及感光性层叠体、图案形成装置、图案形成方法，其中，所述感光性组合物相对于波长400～410nm的曝光光的灵敏度分布大致一定、图案重现性优良、最大地抑制图案形状的偏差、可以在明室环境下处理。因此，提供一种感光性组合物、层叠有该感光性组合物的图案形成材料，其中，所述感光性组合物在支持体上至少具有感光层，该感光层含有粘合剂、聚合性化合物、光聚合引发剂及增感剂，该感光层在380～420nm的波长域具有光谱灵敏度的最大值，同时，在400nm处可以形成图案的最小曝光量S400为200mJ/cm2以下、在410nm处可以形成图案的最小曝光量S410为200mJ/cm2以下、且满足0.6

公开(公告)号：CN101263425B

公开(公告)日：2012-06-13

申请号：CN200680033839.9

申请日：2006-08-25

申请人： 旭化成电子材料株式会社

发明人： 南一守 ,  佐藤守正

IPC分类号： G03F7/004 ,  G03F7/033 ,  G03F7/20 ,  G03F7/027 ,  C08F299/00 ,  H01L21/027

CPC分类号： C08F299/00 ,  C08F283/006 ,  G03F7/0007 ,  G03F7/001 ,  G03F7/031 ,  G03F7/033

摘要： 本发明的目的在于提供一种表面故障少、可以防止显色剂引起的光灰雾、未曝光膜的破裂少、析像度高、遮盖膜强度高而且图案形成后的剥离性良好、可以形成更高精细的图案的图案形成材料以及具备该图案形成材料的图案形成装置及使用所述图案形成材料的图案形成方法。为此，提供一种图案形成材料，其中，感光层内含粘合剂、聚合性化合物、光聚合引发剂、杂缩环系化合物、阻聚剂、显色剂以及有机溶剂，粘合剂的酸值为50～400mgKOH/g，而且质均分子量为10,000～100,000，聚合性化合物内含具有尿烷基的化合物以及具有芳基的化合物的至少任意一种，有机溶剂为从酮类、醇类以及醚类中选择的至少一种，而且含量为0.5质量％以下。