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公开(公告)号：CN1886442B
公开(公告)日：2010-09-08
申请号：CN200480035239.7
申请日：2004-12-02
申请人： 旭硝子株式会社
IPC分类号： C08G67/00 , G03F1/14 , C09J173/00 , C09J7/02
CPC分类号： G03F1/62 , C08G65/007 , C08G65/226 , G03F7/0046 , Y10T428/24331 , Y10T428/3154
摘要： 本发明提供作为表膜材料等的对短波长光(振荡波长193nm的ArF准分子激光，振荡波长157nm的F2准分子激光)具有高透明性和耐久性的有用的含氟聚合物。本发明还提供表膜，该表膜的被用于表膜的膜及/或粘合剂的聚合物(I)由以下述单元(1)为必须成分的聚合物形成。单元(1)是含有氟原子、形成聚合物主链的链由碳原子和醚性氧原子构成、形成该主链的碳原子的1个或1个以上是形成环基的碳原子、且形成该主链的1个或1个以上的醚性氧原子为不形成环基的氧原子的单元。例如，下式(A1)表示的单元，式中，n为1或2，RF1为-F或-CF3，RF2为-F或碳原子数1～5的全氟烷基。
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公开(公告)号：CN1886442A
公开(公告)日：2006-12-27
申请号：CN200480035239.7
申请日：2004-12-02
申请人： 旭硝子株式会社
IPC分类号： C08G67/00 , G03F1/14 , C09J173/00 , C09J7/02
CPC分类号： G03F1/62 , C08G65/007 , C08G65/226 , G03F7/0046 , Y10T428/24331 , Y10T428/3154
摘要： 本发明提供作为半透膜材料等的对短波长光(振荡波长193nm的ArF准分子激光，振荡波长157nm的F2准分子激光)具有高透明性和耐久性的有用的含氟聚合物。本发明还提供半透膜，该半透膜的被用于半透膜的膜及/或粘合剂的聚合物(I)由以下述单元(1)为必须成分的聚合物形成。单元(1)是含有氟原子、形成聚合物主链的链由碳原子和醚性氧原子构成、形成该主链的碳原子的1个或1个以上是形成环基的碳原子、且形成该主链的1个或1个以上的醚性氧原子为不形成环基的氧原子的单元。例如，上式(A1)表示的单元，式中，n为1或2，RF1为－F或－CF3，RF2为－F或碳原子数1～5的全氟烷基。
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公开(公告)号：CN1122078C
公开(公告)日：2003-09-24
申请号：CN96122542.4
申请日：1996-09-20
申请人： 旭硝子株式会社 , 日立化成工业株式会社
IPC分类号： C08L27/12 , H01B3/44 , C09D127/12
CPC分类号： H01B3/445 , Y10T428/3154 , Y10T428/31544 , Y10T428/31663 , Y10T428/31667
摘要： 一种低介电的树脂组合物，它包含下述组分(a)和(b)，由该组合物制成的涂层膜的介电常数至多为3：(a)在其分子中含官能团且溶于溶剂的树脂；和(b)结构式为Rm1Rn2Si(OR3)4-m-n的烷氧基硅烷的部分水解缩合物，其中可相同或不同的各R1和R2为非水解基团，R3为烷基，m和n为满足0≤m+n≤3的0-3的整数。
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公开(公告)号：CN1226579A
公开(公告)日：1999-08-25
申请号：CN98125388.1
申请日：1998-12-18
申请人： 旭硝子株式会社
CPC分类号： C08K5/06 , C09D127/12 , Y10T428/2913 , Y10T428/31507 , Y10T428/3154 , Y10T428/31678 , Y10T428/31786 , C08L27/12 , C08L2666/28
摘要： 公开了一种含氟聚合物组合物,它包含化学式为R1－O－R2的含氟溶剂,其中R1是具有醚键的C5—12线型或支化的多氟烷基,R2是C1—5线型或支化的烷基,以及溶解在该溶剂中的主链中具有含氟环状结构的含氟无定形聚合物。
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公开(公告)号：CN100434973C
公开(公告)日：2008-11-19
申请号：CN200480035980.3
申请日：2004-12-02
申请人： 旭硝子株式会社
IPC分类号： G02F1/01
CPC分类号： B82Y20/00 , G02F1/011 , G02F1/0126 , G02F1/293 , G02F1/315 , G02F1/355 , G02F2202/13 , G02F2202/36 , G02F2203/12
摘要： 本发明提供即使作为调制驱动光使用极短脉冲的高功率激光，光调制特性也不会劣化，使用寿命长，且使用1.55μm等的波长的光的响应速度快的空间光调制元件。该空间光调制元件的特征是，在棱镜2和由因光照射而复折射率发生变化的光功能性材料形成的光功能性材料层3之间，存在折射率低于棱镜2的折射率的透明材料形成的低折射率层4，作为光功能性材料采用纳米碳管。
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公开(公告)号：CN1139636C
公开(公告)日：2004-02-25
申请号：CN98125388.1
申请日：1998-12-18
申请人： 旭硝子株式会社
CPC分类号： C08K5/06 , C09D127/12 , Y10T428/2913 , Y10T428/31507 , Y10T428/3154 , Y10T428/31678 , Y10T428/31786 , C08L27/12 , C08L2666/28
摘要： 公开了一种含氟聚合物组合物，它包含化学式为R1-O-R2的含氟溶剂，其中R1是具有醚键的C5-12线型或支化的多氟烷基，R2是C1-5线型或支化的烷基，以及溶解在该溶剂中的主链中具有含氟环状结构的含氟无定形聚合物。
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公开(公告)号：CN100380177C
公开(公告)日：2008-04-09
申请号：CN200480024695.1
申请日：2004-09-03
申请人： 旭硝子株式会社
IPC分类号： G02F1/01
CPC分类号： G02F1/0126 , G02F2202/13 , G02F2203/12
摘要： 提供即使使用极短脉冲的高能量激光作为调制驱动光，光调制特性也不会劣化的、寿命长的空间光调制元件。在棱镜(2)与由折射率随光照而变化的光功能性材料构成的光功能性材料层(3)之间，介有由具有比所述电介质的折射率更低的折射率的透明材料构成的低折射率层(4)的空间光调制元件(1)。使用该空间光调制元件(1)在棱镜和低折射率层的交界面，通过调制驱动光(6)控制通过棱镜入射的被调制光(5)的反射的空间光调制方法。
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公开(公告)号：CN1315817C
公开(公告)日：2007-05-16
申请号：CN03819680.8
申请日：2003-08-21
申请人： 旭硝子株式会社
IPC分类号： C07D307/30 , C08F34/02 , G03F1/14
CPC分类号： C07D307/16 , C07D307/18 , C07D307/30 , C08F34/02 , G03F1/62 , G03F1/64
摘要： 提供了对短波长的光具有良好的透过性及耐久性、能用于使用了KrF准分子激光等的光刻工序的表膜。该表膜是表膜的膜通过粘合剂与框体粘接而成的用于波长小于等于200nm的光的曝光处理的表膜，该表膜的膜及/或该粘合剂由含有下式(1)表示的重复单元的聚合物形成，Q表示直链结构的碳原子数1～3的多氟亚烷基等或选自该多氟亚烷基中的氢原子及氟原子的1个或1个以上的原子被可含醚性氧原子的多氟烷基形成的取代基取代的基团；X表示氢原子、氟原子或可含醚性氧原子的碳原子数1～3的多氟烷基。
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公开(公告)号：CN1890597A
公开(公告)日：2007-01-03
申请号：CN200480035980.3
申请日：2004-12-02
申请人： 旭硝子株式会社
IPC分类号： G02F1/01
CPC分类号： B82Y20/00 , G02F1/011 , G02F1/0126 , G02F1/293 , G02F1/315 , G02F1/355 , G02F2202/13 , G02F2202/36 , G02F2203/12
摘要： 本发明提供即使作为调制驱动光使用极短脉冲的高功率激光，光调制特性也不会劣化，使用寿命长，且使用1.55μm等的波长的光的响应速度快的空间光调制元件。该空间光调制元件的特征是，在棱镜2和由因光照射而复折射率发生变化的光功能性材料形成的光功能性材料层3之间，存在折射率低于棱镜2的折射率的透明材料形成的低折射率层4，作为光功能性材料采用纳米碳管。
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公开(公告)号：CN1285010C
公开(公告)日：2006-11-15
申请号：CN03155178.5
申请日：2003-08-25
申请人： 旭硝子株式会社
IPC分类号： G03F1/14 , H01L21/027 , G02F1/13
CPC分类号： G03F1/62 , Y10T428/161 , Y10T428/3154
摘要： 用波长为100-200nm的光进行光刻制图方法用的膜结构，它具有由以下含氟聚合物(A)制成的薄膜：含氟聚合物(A)：一种基本线型的含氟聚合物，在其主链上有脂环结构。主链由碳原子组成，并符合下列要求(1)和(2)：(1)主链上的碳原子包含连有至少一个氢原子的碳原子和不连氢原子的碳原子，(2)在用高分辨率核磁共振波谱进行测量时，基于总氢原子数，在大于2.8ppm的高磁场区出现的信号的氢原子个数至多为6mol%。
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