石英晶体振荡器的制造方法及石英晶体振荡器

    公开(公告)号:CN1938944A

    公开(公告)日:2007-03-28

    申请号:CN200580010069.1

    申请日:2005-03-28

    CPC classification number: H03H9/215 G01C19/56 G01C25/00 H03H3/04 H03H2003/0407

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够使起因于晶体振动片的温度漂移特性稳定化的石英晶体振荡器的制造方法及石英晶体振荡器。该方法具有:通过蚀刻加工将晶体振动片加工为规定形状的晶体蚀刻工序(S1);在晶体振动片上形成电极的电极膜形成工序(S2);将晶体振动片安装于振荡器外壳的晶体装载工序(S3);将被安装的晶体振动片驱动并检测漏泄振动,根据该检测的漏泄振动进行对于晶体振动片一部分的除去加工的漏泄振动调整工序(S4);以及对进行了除去加工的晶体振动片再次进行蚀刻的再蚀刻工序(S6)。

Patent Agency Ranking