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公开(公告)号:CN107681991A
公开(公告)日:2018-02-09
申请号:CN201710646628.2
申请日:2012-03-13
申请人: 精工爱普生株式会社
CPC分类号: H03H9/19 , H01L41/047 , H03B5/36 , H03H9/0542 , H03H9/0552 , H03H9/1021 , H03H9/177 , H03H3/02 , H03H3/04 , H03H2003/022 , H03H2003/0407 , H03H2003/0435 , H03H2003/0485
摘要: 本发明获得一种压电振动元件、压电振子、压电振荡器以及电子设备,该压电振动元件不与弯曲振动等轮廓振动模式结合、且为CI较小的台面结构。压电振动元件(100)具备:压电基板(10);分别被相对配置在两主面上的各个激励电极(20);引出电极(22);衬垫(24)。压电基板(10)具有:位于中央的激励部(14);被设置在所述激励部的边缘上的薄壁的周边部(12),其中,激励部(14)的、相对置的两个侧面各自为无阶梯状的平面,激励部(14)的、相对置的另外两个侧面各自在厚度方向上具有阶梯部。各个衬垫(24)在与压电基板(10)的各个角部相对应的位置上具有将压电基板(10)固定在支承部件上的支承区域(26),激励电极(20)跨越激励部(14)、和周边部(12)的至少一部分的振动区域而形成。
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公开(公告)号:CN107231139A
公开(公告)日:2017-10-03
申请号:CN201710167655.1
申请日:2017-03-20
申请人: 日本电波工业株式会社
IPC分类号: H03H9/19
CPC分类号: H03H9/17 , H03H9/02543 , H03H9/132 , H03H2003/0407 , H03H9/19
摘要: 本发明提供一种晶体振子,抑制副振动与主振动的耦合且CI值被抑制得低。晶体振子(100)包括:平板状的晶体片(110),具有与X′轴及Z′轴平行的主面,所述X′轴是以作为晶体的结晶轴的Z轴为中心而使作为晶体的结晶轴的X轴在15度至25度的范围内旋转所得,所述Z′轴是以X′轴为中心而使Z轴在33度至35度的范围内旋转所得;以及激振电极(129),形成于晶体片的各主面。激振电极包括:外形为圆形形状的第一区域(120a),及形成于第一区域的周围且外形为椭圆形形状并且厚度比第一区域薄的第二区域(120b),椭圆形形状的长轴相对于X′轴延伸的方向而在‑5度至+15度的范围的方向上延伸。
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公开(公告)号:CN102931942B
公开(公告)日:2015-10-21
申请号:CN201210282502.9
申请日:2012-08-09
申请人: 太阳诱电株式会社
IPC分类号: H03H9/25
CPC分类号: H03H9/02102 , H03H3/04 , H03H9/02118 , H03H9/02157 , H03H9/131 , H03H9/132 , H03H9/173 , H03H9/175 , H03H9/564 , H03H9/582 , H03H9/706 , H03H2003/021 , H03H2003/0407 , H03H2003/0442
摘要: 本发明提供了声波器件。一种声波器件包括:基板;形成在所述基板上的下电极;形成在所述下电极上的至少两个压电膜;位于所述至少两个压电膜之间的绝缘膜;以及形成在所述至少两个压电膜上的上电极,其中,在所述下电极和所述上电极彼此面对的区域中,所述至少两个压电膜中的最上面的压电膜的外周比所述上电极的外周更靠内。
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公开(公告)号:CN104811157A
公开(公告)日:2015-07-29
申请号:CN201510034277.0
申请日:2015-01-23
申请人: 太阳诱电株式会社
CPC分类号: H03H9/173 , H03H9/175 , H03H9/568 , H03H9/706 , H03H2003/0407
摘要: 压电薄膜谐振器、滤波器和双工器。压电薄膜谐振器(100、200、400、500)包括:基板(10);压电膜(14),其设置在所述基板上;下电极(12)和上电极(16),其彼此相对,以在所述下电极(12)和所述上电极(16)之间设置所述压电膜的至少部分;以及插入膜(28),其被插入到谐振区(50)中的所述压电膜内,在所述谐振区(50)中,所述压电膜的至少所述部分被设置在所述下电极和所述上电极之间,所述插入膜的与所述谐振区中的外围区(52)对应的至少部分(28b)比所述插入膜的与所述谐振区中的中心区(54)对应的部分(28a)厚。
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公开(公告)号:CN102577118A
公开(公告)日:2012-07-11
申请号:CN201080043268.3
申请日:2010-09-27
申请人: VTT技术研究中心
CPC分类号: H03H9/02259 , B81B3/0081 , B81B2201/0271 , H03H3/0076 , H03H9/02338 , H03H9/02448 , H03H9/2436 , H03H9/2452 , H03H9/2463 , H03H2003/027 , H03H2003/0407 , H03H2009/02496 , H03H2009/02503 , H03H2009/02511 , H03H2009/241 , H03H2009/2442
摘要: 本发明涉及微机械谐振器,包括:第一材料(2)的基底(1);悬挂至支承结构(1)的谐振器(3),谐振器(3)至少部分地具有与支承结构的材料相同的材料(2),并且形成用于以特定频率f0谐振的尺寸;用于启动、维持谐振器(3)的谐振并且将谐振器(3)的谐振耦接至外部电路(6)的耦接装置(5);以及所述谐振器(3)包括有第二材料(4),第二材料(4)的热性质不同于第一材料(2)的热性质。根据本发明,谐振器(3)包括集中位于所述谐振器(3)的特定位置的第二材料(4)。
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公开(公告)号:CN104811157B
公开(公告)日:2017-12-08
申请号:CN201510034277.0
申请日:2015-01-23
申请人: 太阳诱电株式会社
CPC分类号: H03H9/173 , H03H9/175 , H03H9/568 , H03H9/706 , H03H2003/0407
摘要: 压电薄膜谐振器、滤波器和双工器。压电薄膜谐振器(100、200、400、500)包括:基板(10);压电膜(14),其设置在所述基板上;下电极(12)和上电极(16),其彼此相对,以在所述下电极(12)和所述上电极(16)之间设置所述压电膜的至少部分;以及插入膜(28),其被插入到谐振区(50)中的所述压电膜内,在所述谐振区(50)中,所述压电膜的至少所述部分被设置在所述下电极和所述上电极之间,所述插入膜的与所述谐振区中的外围区(52)对应的至少部分(28b)比所述插入膜的与所述谐振区中的中心区(54)对应的部分(28a)厚。
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公开(公告)号:CN105659495A
公开(公告)日:2016-06-08
申请号:CN201480041241.9
申请日:2014-08-06
申请人: 株式会社村田制作所
发明人: 梅田圭一
CPC分类号: H03H9/17 , H03H3/02 , H03H9/0504 , H03H9/13 , H03H9/174 , H03H9/21 , H03H2003/0407
摘要: 本发明涉及压电谐振器及其制造方法。提供一种抑制了基于Si的厚度偏差的谐振频率的偏差的压电谐振器。压电谐振器(1)具备单晶Si(5)、设置在上述单晶Si(5)上的由氮化铝构成的压电膜(8)、以及被设置成夹着上述压电膜(8)的第一电极和第二电极(6、7),在由上述氮化铝构成的压电膜(8)掺杂有除了氮以及铝的元素,除了上述单晶Si(5)的部分的音速的合成音速实质上与上述单晶Si(5)的音速一致。
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公开(公告)号:CN104660208A
公开(公告)日:2015-05-27
申请号:CN201410647372.3
申请日:2014-11-14
申请人: 精工爱普生株式会社
发明人: 山田明法
CPC分类号: H03H9/215 , H03H9/02023 , H03H9/02157 , H03H2003/0407
摘要: 提供具有优异的振动特性的振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体。在振动元件的振动臂的主面侧,设置有朝该主面敞开的有底的一个槽,在另一个主面侧,设置有朝该主面敞开的有底的另一个槽。在设所述振动臂的厚度为T,俯视时所述振动臂的外缘与所述槽之间的沿着与所述主面的所述延伸方向垂直的方向的宽度为W、所述槽的合计为ta、ta/T为η时,在所述振动臂的所述延伸方向的至少一部分中,存在满足4.236×10×η2-8.473×10×η+4.414×10[μm]≤W[μm]≤-3.367×10×η2+7.112×10×η-2.352×10[μm]且0.75≤η<1.00的关系的区域,在设所述振动臂的所述延伸方向上的长度为L、锤部的所述延伸方向上的长度为H时,满足0.012<H/L<0.30的关系。
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公开(公告)号:CN104660169A
公开(公告)日:2015-05-27
申请号:CN201410648703.5
申请日:2014-11-14
申请人: 精工爱普生株式会社
发明人: 山田明法
IPC分类号: H03B5/32
CPC分类号: H03H9/215 , H01L41/053 , H03B5/32 , H03H3/04 , H03H9/02157 , H03H9/0547 , H03H2003/0407
摘要: 本发明为振动元件、振子、振荡器、电子设备及移动体。本发明的课题是提供振动特性和耐冲击性这两方面都优异的振动元件,并且提供具备该振动元件的可靠性高的振子、振荡器、电子设备及移动体。振动元件(2)包括石英振动片(3),所述石英振动片(3)具有:基部(31);振动臂(32、33),其从基部的一端侧延伸;连接部(34),其配置在基部(31)的另一端侧;以及连结部(35),其位于基部(31)和连接部(35)之间,并将它们连结起来,当设石英振动片(3)的厚度为T,基部(31)的宽度为W1,连结部(35)的宽度为W2时,满足110μm≤T≤210μm的关系,同时满足0.469≤W2/W1≤0.871。
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公开(公告)号:CN102916673A
公开(公告)日:2013-02-06
申请号:CN201210272191.8
申请日:2012-08-01
申请人: 太阳诱电株式会社
CPC分类号: H03H3/04 , H03H9/171 , H03H2003/021 , H03H2003/023 , H03H2003/025 , H03H2003/0407 , Y10T29/42
摘要: 本发明提供了压电薄膜谐振器及其制造方法。一种压电薄膜谐振器包括:下电极,其设置在基板上;压电膜,其设置在下电极上并包括至少两层;上电极,其设置在压电膜上,并具有面对下电极且与下电极一起夹着压电膜的区域;和绝缘膜,其设置在下电极和上电极彼此面对的区域中,并在所述至少两层的各层之间,其中绝缘膜的上表面比绝缘膜的下表面平坦。
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