公开(公告)号：CN110523232B

公开(公告)日：2022-06-03

申请号：CN201810841300.0

申请日：2018-07-27

申请人： 旺矽科技股份有限公司

发明人： 李岳颖 ,  赫尔格·雅各布·克里斯塔 ,  张盈乔

IPC分类号： B01D53/26 ,  G10K11/16

摘要： 本发明是关于一种具有消音功能的气体排放装置及消音方法，其中，具有消音功能的气体排放装置包含排放管、外管、至少一挡板以及消音元件；排放管具有排放口，排放管沿长轴方向的一端具有第一端面，第一端面毗邻排放口；外管套设于排放管外，且外管具有相连通的通道以及出口，出口毗邻第一端面，通道用以流通干净干燥气体至出口；挡板设置于出口外，使得干净干燥气体在通过出口时，至少部分被挡板制挡转向而吹往第一端面，挡板具有第二端面，至少部分朝向排放管的中心线，第一端面与第二端面之间形成导引口；消音元件位于出口，且至少部分分隔于导引口与通道之间；具有消音功能的气体排放装置能使干净干燥气体的应用变得更安静。

公开(公告)号：CN103426786B

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201210414786.2

申请日：2012-10-26

申请人： 旺矽科技股份有限公司

发明人： 李岳颖 ,  陈兴洲

IPC分类号： H01L21/66 ,  H01L21/68

摘要： 本发明涉及一种晶圆载环总成的角度定位方法以及实施该方法的机构，该方法包含有下列步骤：a)在该晶圆载环总成的一可透光薄膜上设置一非透明的定位标签；b)使该晶圆载环总成绕一旋转中心旋转，用于使该定位标签旋转地通过一光传感器的感测位置；c)在该光传感器侦知该定位标签通过该光传感器的感测位置之后，使该晶圆载环总成再旋转一预定角度α后停止于一目标位置，以此完成该晶圆载环总成的角度定位。其次，可利用贴附于该薄膜上的一条形码标签作为前述定位标签，使得该晶圆载环总成在进行定位时可一并进行条形码读取作业。

公开(公告)号：CN106200712B

公开(公告)日：2018-08-31

申请号：CN201510220525.0

申请日：2015-05-04

申请人： 旺矽科技股份有限公司

发明人： 李岳颖 ,  克里斯塔·赫尔格·雅各布 ,  张盈乔

IPC分类号： G05D23/20

CPC分类号： F26B3/04 ,  G01R31/003 ,  G01R31/2862 ,  G01R31/2874

摘要： 本发明揭露一种温度控制设备及其隔离罩。温度控制设备包含流体输出装置连接头、隔离罩、干燥腔室与干燥气体源。流体输出装置连接头具有输出喷嘴与第一流体输出管。隔离罩具有罩体与第二流体输出管。罩体定义工作空间，输出喷嘴连通工作空间，第二流体输出管连通工作空间与第一流体输出管，第一流体输出管与第二流体输出管之间具有连结界面。连结界面至少部分位于干燥腔室中。干燥气体源连通干燥腔室，用以提供干燥气体至干燥腔室中。本发明提供的温度控制设备，能把于连结界面泄漏的流体，以干燥气体先稀释后再排出，以避免于连结界面出现结霜或露水的现象。

公开(公告)号：CN106873662A

公开(公告)日：2017-06-20

申请号：CN201610824065.7

申请日：2016-09-14

申请人： 旺矽科技股份有限公司

发明人： 克里斯达·黑尔格·雅各布 ,  张盈乔 ,  李岳颖

IPC分类号： G05D23/20

CPC分类号： G01R31/2875 ,  F24H9/2071 ,  G01R31/2862 ,  H05B1/0297 ,  G05D23/20

摘要： 一种温度控制系统及其方法，该系统包括一第一通道、一第二通道、一加热元件、一DUT腔室、一转换器、一第一PID控制器及至少一个切换调节器。该加热元件设置于该第一通道及该第二通道下游以根据一输入功率对来自该第一通道的第一空气或来自该第二通道的第二空气进行加热，以便将具有一温度的混合空气提供至该DUT腔室中。该转换器将一AC功率转换成一DC功率。该第一PID控制器根据一第一设定点及由该加热元件消耗的功率的一量测信号来提供一第一输入信号。该输入功率借由该切换调节器根据该第一输入信号调整以驱动该加热元件。因此，电功率的使用将更有效率。本发明还提供了用于该受测装置的一温度控制系统的温度控制方法。

公开(公告)号：CN105890268A

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201610080751.8

申请日：2016-02-05

申请人： 旺矽科技股份有限公司

发明人： 圣彼尔·麦克·洛伊 ,  克里斯塔·赫尔格·雅各 ,  张盈乔 ,  李岳颖

IPC分类号： F25D21/12 ,  F25D29/00

摘要： 本发明涉及一种具有除霜功能的冷却系统，用于冷却一流体管路内的工作流体，其包括：一冷却装置，包括一压缩机、一冷凝器、一膨胀器、一蒸发器、一冷却流路和一在冷却流路内流经压缩机、冷凝器、膨胀器及蒸发器的冷却剂，工作流体在流体管路内流经蒸发器与冷却剂进行热交换；一控制器，与冷却装置电连接，用于控制冷却装置，进而控制工作流体的温度；一除霜单元，包括一设置在冷却流路且位于压缩机与冷凝器之间的切换阀，以及一与切换阀连接的除霜流路，冷却剂流经切换阀后能选择性地流入冷却流路及除霜流路两者中之一，冷却剂流经除霜流路后先流经蒸发器再回流至压缩机。因此，本发明冷却系统不需通过加热器即可快速地进行除霜。

公开(公告)号：CN105890268B

公开(公告)日：2020-07-10

申请号：CN201610080751.8

申请日：2016-02-05

申请人： 旺矽科技股份有限公司

发明人： 圣彼尔·麦克·洛伊 ,  克里斯塔·赫尔格·雅各 ,  张盈乔 ,  李岳颖

IPC分类号： F25D21/12 ,  F25D29/00

摘要： 本发明涉及一种具有除霜功能的冷却系统，用于冷却一流体管路内的工作流体，其包括：一冷却装置，包括一压缩机、一冷凝器、一膨胀器、一蒸发器、一冷却流路和一在冷却流路内流经压缩机、冷凝器、膨胀器及蒸发器的冷却剂，工作流体在流体管路内流经蒸发器与冷却剂进行热交换；一控制器，与冷却装置电连接，用于控制冷却装置，进而控制工作流体的温度；一除霜单元，包括一设置在冷却流路且位于压缩机与冷凝器之间的切换阀，以及一与切换阀连接的除霜流路，冷却剂流经切换阀后能选择性地流入冷却流路及除霜流路两者中之一，冷却剂流经除霜流路后先流经蒸发器再回流至压缩机。因此，本发明冷却系统不需通过加热器即可快速地进行除霜。

公开(公告)号：CN105797794A

公开(公告)日：2016-07-27

申请号：CN201410833876.4

申请日：2014-12-29

申请人： 旺矽科技股份有限公司

发明人： 克里斯塔·赫尔格·雅各布 ,  李岳颖 ,  张盈乔

IPC分类号： B01L7/00

CPC分类号： B05B7/16 ,  B05B7/0815 ,  G01R31/2877

摘要： 本发明公开了一种流体排放装置，该流体排放装置包含排放管、外管与至少一个挡板。排放管具有排放口，排放管具有端面，端面毗邻排放口。外管套设于排放管外，且外管中具有至少一个通道，通道用以流通干净干燥气体，通道具有出口。挡板设置于出口外，使得干净干燥气体在通过出口时，至少部分被挡板止挡转向，而吹往排放管的端面，使得干净干燥气体能够流经位于排放口附近与高(常)温空气接触的低温硬件介面，有效防止位于排放口附近的硬件介面上出现结霜、露水的现象。

公开(公告)号：CN105782178A

公开(公告)日：2016-07-20

申请号：CN201410814084.2

申请日：2014-12-24

申请人： 旺矽科技股份有限公司

发明人： 克里斯塔·赫尔格·雅各 ,  李岳颖 ,  张盈乔

IPC分类号： F16B1/02

摘要： 本发明涉及一种温度控制系统的工作流体输出装置，包含有一输出头、一配接组件及一快拆机构，输出头的一底板及配接组件的一顶板分别有一安装面及一穿孔，快拆机构包含有分别设于该二安装面的第一、二单元，该第一单元包含有一操作件，该操作件具有一定位部，且该操作件能供一使用者操作而使该定位部在一锁固位置与一未锁固位置之间移动，使得该第一单元与该第二单元可拆卸地结合，并使得配接组件以该二安装面相对且该二穿孔相连通的方式而可拆卸地设置于输出头；由此，该配接组件能快速、安全且方便地被拆装。

公开(公告)号：CN104807191A

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：CN201410037341.6

申请日：2014-01-26

申请人： 旺矽科技股份有限公司

发明人： 克里斯塔·赫尔格·雅各 ,  李岳颖 ,  张盈乔

IPC分类号： F24H9/20

摘要： 本发明涉及一种使用光检测器检测温度的加热装置及其保护方法，该加热装置包含有一内部有一流道的外壳、一设于流道内的加热器、一光导杆、一导光元件及一光检测器。光导杆具有一透明本体、一第一端部及位于外壳内部的第二端部，导光元件位于该第二端部且面向加热器，以将加热器发出的光往第一端部的方向导引。光检测器位于该第一端部并面向第二端部，以通过透明本体间接地接收加热器照射于导光元件的光。由此，该光检测器可用于检测该加热器的温度，且因反应速度快而能对该加热器达到有效的过热保护，该光检测器可避免因处在高温差环境而易损坏的问题，且该加热装置在空间配置上相当有弹性。

公开(公告)号：CN110523232A

公开(公告)日：2019-12-03

申请号：CN201810841300.0

申请日：2018-07-27

申请人： 旺矽科技股份有限公司

发明人： 李岳颖 ,  赫尔格·雅各布·克里斯塔 ,  张盈乔

IPC分类号： B01D53/26 ,  G10K11/16

摘要： 本发明是关于一种具有消音功能的气体排放装置及消音方法，其中，具有消音功能的气体排放装置包含排放管、外管、至少一挡板以及消音元件；排放管具有排放口，排放管沿长轴方向的一端具有第一端面，第一端面毗邻排放口；外管套设于排放管外，且外管具有相连通的通道以及出口，出口毗邻第一端面，通道用以流通干净干燥气体至出口；挡板设置于出口外，使得干净干燥气体在通过出口时，至少部分被挡板制挡转向而吹往第一端面，挡板具有第二端面，至少部分朝向排放管的中心线，第一端面与第二端面之间形成导引口；消音元件位于出口，且至少部分分隔于导引口与通道之间；具有消音功能的气体排放装置能使干净干燥气体的应用变得更安静。