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公开(公告)号：CN104107623B
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201410152775.0
申请日：2014-04-16
Applicant: 昭和电工株式会社
CPC classification number: Y02C20/30
Abstract: 本发明提供能够从分解气体更切实地除去酸成分，并且能够更顺利地进行用于干式除去酸成分的药剂的更换的过氟化物处理装置等。一种过氟化物处理装置，其特征在于，具备：加热单元，其对含有过氟化物的气体以及水进行加热，并利用催化剂水解过氟化物，生成分解气体；配置在加热单元的前段以及后段的热交换单元；和干式除去分解气体中的酸成分的酸成分除去单元，酸成分除去单元在装置底部具备：能够开闭，且在成为打开了的状态时取出反应后的药剂的闸门（251a～251e）（闸门（251））；和狭缝部（252），其配置于闸门（251）之间，具有从上方朝向闸门（251）的斜面（S1、S2），并且在斜面（S1、S2）上具有使分解气体通过而不使药剂通过的大小的狭缝（252a）。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104107623A
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：CN201410152775.0
申请日：2014-04-16
Applicant: 昭和电工株式会社
CPC classification number: Y02C20/30
Abstract: 本发明提供能够从分解气体更切实地除去酸成分，并且能够更顺利地进行用于干式除去酸成分的药剂的更换的过氟化物处理装置等。一种过氟化物处理装置，其特征在于，具备：加热单元，其对含有过氟化物的气体以及水进行加热，并利用催化剂水解过氟化物，生成分解气体；配置在加热单元的前段以及后段的热交换单元；和干式除去分解气体中的酸成分的酸成分除去单元，酸成分除去单元在装置底部具备：能够开闭，且在成为打开了的状态时取出反应后的药剂的闸门（251a～251e）（闸门（251））；和狭缝部（252），其配置于闸门（251）之间，具有从上方朝向闸门（251）的斜面（S1、S2），并且在斜面（S1、S2）上具有使分解气体通过而不使药剂通过的大小的狭缝（252a）。
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公开(公告)号：CN104056536A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201410102944.X
申请日：2014-03-19
Applicant: 昭和电工株式会社
CPC classification number: Y02C20/30 , Y02P20/155 , Y02P70/605
Abstract: 本发明提供作为预处理能够避免大量的水的使用和排水处理，并且能够除去含有过氟化物的气体中的固体成分，过滤器等难以堵塞的过氟化物处理装置等。一种过氟化物处理装置（2），其特征在于，具备：对装置入口排气进行预处理的预处理装置（21）；对装置入口排气以及水进行加热，并且利用催化剂水解过氟化物，生成含有酸性气体的分解气体的加热单元（第1加热器（221）、第2加热器（222））；配置于加热单元的前段以及后段，在装置入口排气以及水与分解气体之间进行热交换的热交换器（231）；和将酸成分干式除去的酸成分除去装置（232），预处理装置（21）具备：对装置入口排气进行加热，使装置入口排气中所含有的液体的水蒸发的入口加热器（211）；和从装置入口排气除去固体成分的过滤器（212、212a）。
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公开(公告)号：CN104108736B
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201410151914.8
申请日：2014-04-16
Applicant: 昭和电工株式会社
IPC: C01F11/22
CPC classification number: Y02P20/129
Abstract: 本发明提供一种难以产生含有酸成分的排水、能量的利用效率更好的氟化钙的制造方法。所述氟化钙的制造方法，其特征在于，具备：加热工序（K2），该工序对含有过氟化物的气体以及水进行加热，并且利用催化剂水解过氟化物来生成含有酸性气体的分解气体；热交换工序（K3），该工序在流入加热工序（K2）之前的含有装置入口排气以及水与从加热工序（K2）流出后的分解气体之间进行热交换；以及氟化钙生成工序（K4），该工序使从热交换工序（K3）流出后的分解气体中所含的酸成分与钙盐反应生成氟化钙。
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公开(公告)号：CN104108736A
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：CN201410151914.8
申请日：2014-04-16
Applicant: 昭和电工株式会社
IPC: C01F11/22
CPC classification number: Y02P20/129
Abstract: 本发明提供一种难以产生含有酸成分的排水、能量的利用效率更好的氟化钙的制造方法。所述氟化钙的制造方法，其特征在于，具备：加热工序（K2），该工序对含有过氟化物的气体以及水进行加热，并且利用催化剂水解过氟化物来生成含有酸性气体的分解气体；热交换工序（K3），该工序在流入加热工序（K2）之前的含有装置入口排气以及水与从加热工序（K2）流出后的分解气体之间进行热交换；以及氟化钙生成工序（K4），该工序使从热交换工序（K3）流出后的分解气体中所含的酸成分与钙盐反应生成氟化钙。
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公开(公告)号：CN104056547A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201410103925.9
申请日：2014-03-19
Applicant: 昭和电工株式会社
CPC classification number: Y02C20/30 , Y02P70/605
Abstract: 本发明提供能够从分解气体更切实地除去酸成分，并且能够减少用于干式除去酸成分的药剂的消耗量的过氟化物处理装置等。一种过氟化物处理装置（2），其特征在于，具备：对装置入口排气以及水进行加热，并且利用预先确定的催化剂水解过氟化物而生成含有HF的分解气体的加热单元（第1加热器（221）、第2加热器（222））；配置在加热单元的前段和后段，在装置入口排气以及水与分解气体之间进行热交换的热交换器（231）；利用药剂从分解气体干式除去HF的酸成分除去装置（232）；检测从酸成分除去装置（232）流出的排气中所含的HF的浓度的HF浓度传感器（236）；和执行向酸成分除去装置（232）进行药剂的排出以及供给的控制的控制装置（24）。
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