公开(公告)号：CN101223483A

公开(公告)日：2008-07-16

申请号：CN200680026390.3

申请日：2006-07-11

Applicant: 昭和电工株式会社

Inventor： 金田昌人 ,  寺尾浩一

IPC: G03F7/42 ,  G02B5/20 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明涉及一种用于光敏性组合物的清除溶液，用于除去含颜料的光敏性组合物，该溶液含有脂环酮、亚烷基二醇单烷基醚和/或醇和任选地含有乙酸酯。所述清除溶液具有优异的光敏性组合物清除性能。

公开(公告)号：CN101116037A

公开(公告)日：2008-01-30

申请号：CN200680004369.3

申请日：2006-02-09

Applicant: 昭和电工株式会社

Inventor： 金田昌人 ,  三河泰广 ,  寺尾浩一

IPC: G03F7/26 ,  G03F7/16 ,  G03F7/42 ,  H01L21/027 ,  G02B5/20 ,  C09D9/00

CPC classification number: C09D9/005 ,  G02B5/20 ,  G03F7/168 ,  G03F7/422

Abstract: 本发明涉及一种用于清除含颜料的光敏组合物的光敏组合物清除液。该光敏组合物清除液包含亚烷基二醇单烷基醚、芳烃以及一种或多种选自亚烷基二醇单烷基醚羧酸酯、烷氧基羧酸酯、脂环族酮和乙酸酯的溶剂。所述光敏组合物清除液具有优异的光敏组合物清除性能。

公开(公告)号：CN101223483B

公开(公告)日：2011-07-27

申请号：CN200680026390.3

申请日：2006-07-11

Applicant: 昭和电工株式会社

Inventor： 金田昌人 ,  寺尾浩一

IPC: G03F7/42 ,  G02B5/20 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明涉及一种用于光敏性组合物的清除溶液，用于除去含颜料的光敏性组合物，该溶液含有脂环酮、亚烷基二醇单烷基醚和/或醇和任选地含有乙酸酯。所述清除溶液具有优异的光敏性组合物清除性能。

公开(公告)号：CN101116037B

公开(公告)日：2010-06-23

申请号：CN200680004369.3

申请日：2006-02-09

Applicant: 昭和电工株式会社

Inventor： 金田昌人 ,  三河泰广 ,  寺尾浩一

IPC: G03F7/26 ,  G03F7/16 ,  G03F7/42 ,  H01L21/027 ,  G02B5/20 ,  C09D9/00

CPC classification number: C09D9/005 ,  G02B5/20 ,  G03F7/168 ,  G03F7/422

Abstract: 本发明涉及一种用于清除含颜料的光敏组合物的光敏组合物清除液。该光敏组合物清除液包含亚烷基二醇单烷基醚、芳烃以及一种或多种选自亚烷基二醇单烷基醚羧酸酯、烷氧基羧酸酯、脂环族酮和乙酸酯的溶剂。所述光敏组合物清除液具有优异的光敏组合物清除性能。