磁记录介质的制造方法和磁记录再生装置

    公开(公告)号:CN102629475A

    公开(公告)日:2012-08-08

    申请号:CN201210015408.7

    申请日:2012-01-18

    IPC分类号: G11B5/84

    CPC分类号: G11B5/855

    摘要: 本发明提供一种能够切实且以高速进行掩模层的除去的磁记录介质的制造方法。本发明是一种具有磁分离了的磁记录图案(2a)的磁记录介质的制造方法,其包括:在非磁性基板(1)之上形成磁性层(2)的工序;在磁性层(2)之上形成溶解层(3)的工序;在溶解层(3)之上形成掩模层(4)的工序;将溶解层(3)和掩模层(4)图案化成为与磁记录图案(2a)对应的形状的工序;将磁性层(2)的没有被掩模层(4)和溶解层(3)覆盖的地方部分性地改性或除去的工序;和利用药剂将溶解层(3)湿式溶解,与其上的掩模层(4)一同从磁性层(2)之上除去的工序,在形成溶解层(3)的工序中,通过在磁性层(2)之上涂布了将有机硅化合物溶解于有机溶剂中的涂液后,固化该涂液,从而形成溶解层(3)。

    磁记录介质的制造方法和磁记录再生装置

    公开(公告)号:CN103219014B

    公开(公告)日:2016-02-10

    申请号:CN201310024847.9

    申请日:2013-01-18

    IPC分类号: G11B5/84 G11B5/667

    摘要: 一种磁记录介质的制造方法,其包括:在非磁性基板(1)上形成磁性层(2)的工序;在磁性层(2)上形成掩模层(3)的工序;在掩模层(3)上形成被图案化为规定的形状的抗蚀剂层(4)的工序;使用抗蚀剂层(4),将掩模层(3)图案化为与该抗蚀剂层(4)对应的形状的工序;使用被图案化了的掩模层(3),将磁性层(2)图案化为与该掩模层(3)对应的形状的工序;和通过反应性等离子体蚀刻除去残存于磁性层(2)上的掩模层(3)的工序,反应性等离子体蚀刻在含有有机化合物的气氛中进行,所述有机化合物具有选自羟基、羰基、羟基羰基、烷氧基、醚基之中的至少一种或多种官能团。

    磁记录介质的制造方法和磁记录再生装置

    公开(公告)号:CN102456358A

    公开(公告)日:2012-05-16

    申请号:CN201110320471.7

    申请日:2011-10-20

    IPC分类号: G11B5/84 G11B5/55

    CPC分类号: G11B5/855

    摘要: 本发明提供一种不使磁性层的表面氧化或卤化,并且,表面不被粉尘污染、制造工序不复杂的形成有磁分离的磁记录图案的磁记录介质的制造方法。所述具有磁分离的磁记录图案的磁记录介质的制造方法,其特征在于,依次具有:在非磁性基板(1)上形成磁性层(2)的工序;在磁性层(2)上形成用于形成磁记录图案的由碳构成的掩模层(3)的工序;对磁性层(2)的未被掩模层(3)覆盖的部位(7)照射含有氢化碳离子的离子束(10),在磁性层(2)上形成作为非磁性体的碳化钴的工序;和除去掩模层(3)的工序。

    制造磁记录介质的方法以及磁记录/再现装置

    公开(公告)号:CN101960517A

    公开(公告)日:2011-01-26

    申请号:CN200880127437.4

    申请日:2008-12-24

    CPC分类号: G11B5/855 G11B5/66 H01F41/34

    摘要: 提供了一种制造磁记录介质的方法,所述磁记录介质具有在非磁性基底的至少一个表面上形成的磁性分离的磁记录图形,所述方法包括通过使形成在所述非磁性基底上的磁性层的一部分与臭氧反应并由此改变所述磁性层的该区域的磁特性而形成所述磁性分离的磁记录图形的步骤。所述磁性层还可以具有两层结构,在该两层结构中,具有非颗粒状结构的磁性层形成在具有颗粒状结构的磁性层上。该制造方法可以高效地制造其记录密度大幅提高的磁记录介质,同时保持等于或优于常规磁记录介质的记录和再现特性。

    磁记录介质的制造方法和磁记录再生装置

    公开(公告)号:CN102456358B

    公开(公告)日:2014-12-10

    申请号:CN201110320471.7

    申请日:2011-10-20

    IPC分类号: G11B5/84 G11B5/55

    CPC分类号: G11B5/855

    摘要: 本发明提供一种不使磁性层的表面氧化或卤化,并且,表面不被粉尘污染、制造工序不复杂的形成有磁分离的磁记录图案的磁记录介质的制造方法。所述具有磁分离的磁记录图案的磁记录介质的制造方法,其特征在于,依次具有:在非磁性基板(1)上形成磁性层(2)的工序;在磁性层(2)上形成用于形成磁记录图案的由碳构成的掩模层(3)的工序;对磁性层(2)的未被掩模层(3)覆盖的部位(7)照射含有氢化碳离子的离子束(10),在磁性层(2)上形成作为非磁性体的碳化钴的工序;和除去掩模层(3)的工序。

    磁记录介质的制造方法和磁记录再生装置

    公开(公告)号:CN102349103B

    公开(公告)日:2014-09-17

    申请号:CN201080011288.2

    申请日:2010-03-08

    IPC分类号: G11B5/84 G11B5/65

    CPC分类号: G11B5/855

    摘要: 本发明提供不使磁性层的表面氧化或卤化并且表面不被粉尘污染、制造工序不复杂的形成有磁性分离了的磁记录图案的磁记录介质的制造方法。这样的磁记录介质的制造方法,其特征在于,依次具有:在非磁性基板上(1)形成磁性层(2)的工序;在磁性层(2)之上形成用于形成磁记录图案的掩模层(3)的工序;以及对磁性层(2)的未被掩模层(3)覆盖的部位照射离子束(10),除去该部位(7)的磁性层(2)的上层部并且对下层部(8)的磁特性进行改性的工序,离子束(10)使用质量不同的两种以上的正离子,形成离子束的离子枪具有向基板侧推出来自离子源的正离子的正电极和使正离子向基板侧加速的负电极。

    制造磁记录介质的方法以及磁记录/再现装置

    公开(公告)号:CN101933090B

    公开(公告)日:2013-05-01

    申请号:CN200880126071.9

    申请日:2008-11-28

    CPC分类号: G11B5/855 H01F41/34

    摘要: 一种制造磁记录介质的方法,该磁记录介质在非磁性基底的至少一个表面上具有磁性分离的磁记录图形,该方法包括以(A)到(G)的顺序执行的下列七个步骤:(A)在非磁性基底上形成磁性层的步骤;(B)在磁性层上形成碳掩模层的步骤;(C)在碳掩模层上形成抗蚀剂层的步骤;(D)在抗蚀剂层上形成磁记录图形的负图形的步骤;(E)去除在与磁记录图形的负图形对应的区域中的掩模层的部分的步骤;(F)去除在与磁记录图形的负图形对应的区域中的磁性层的至少表面层部分的步骤;以及(G)需要时去除剩余的抗蚀剂层和碳掩模层的步骤。所制成的磁记录介质确保了等于或优于常规介质的记录/再现特性并呈现高记录密度。