公开(公告)号：CN110651373B

公开(公告)日：2023-08-15

申请号：CN201880030970.2

申请日：2018-04-19

申请人： 普兰西股份有限公司

发明人： 哈拉尔德·考斯滕鲍尔 ,  乔格·温克勒

IPC分类号： H10K77/10 ,  H10K59/131 ,  H10K59/12 ,  H10K71/60 ,  G02F1/1333 ,  G02F1/1345 ,  F21S4/22 ,  F21S4/24 ,  H01L27/12 ,  H01L29/49 ,  H01L29/45 ,  C23C14/14 ,  H01L29/786

摘要： 一种添加剂用于保持层平面内的Mo基层的导电性的用途，其中Mo基层施加至柔性基板——直接或通过一个或多个中间层，该柔性基板经受单次或重复的弯曲应力、拉伸应力和/或扭转应力，其中添加剂为Cu、Ag、Au或其混合物，以及包含柔性基板和具有含有MoX的金属性层片的层结构的涂覆的柔性部件，其中X是来自Cu、Ag、Au的组的一种或多种元素，以及用于生产此类部件的方法。

公开(公告)号：CN110651373A

公开(公告)日：2020-01-03

申请号：CN201880030970.2

申请日：2018-04-19

申请人： 普兰西股份有限公司

发明人： 哈拉尔德·考斯滕鲍尔 ,  乔格·温克勒

IPC分类号： H01L51/00 ,  H01L51/52 ,  H01L27/32 ,  G02F1/1333 ,  G02F1/1345 ,  F21S4/22 ,  F21S4/24 ,  H01L27/12 ,  H01L29/49 ,  H01L29/45 ,  C23C14/14 ,  H01L29/786

摘要： 一种添加剂用于保持层平面内的Mo基层的导电性的用途，其中Mo基层施加至柔性基板——直接或通过一个或多个中间层，该柔性基板经受单次或重复的弯曲应力、拉伸应力和/或扭转应力，其中添加剂为Cu、Ag、Au或其混合物，以及包含柔性基板和具有含有MoX的金属性层片的层结构的涂覆的柔性部件，其中X是来自Cu、Ag、Au的组的一种或多种元素，以及用于生产此类部件的方法。

公开(公告)号：CN109790617A

公开(公告)日：2019-05-21

申请号：CN201780060621.0

申请日：2017-09-08

申请人： 普兰西股份有限公司

发明人： 迈克尔·艾登贝格-肖伯 ,  乔格·温克勒 ,  迈克尔·欧苏利文

IPC分类号： C23C14/34 ,  C23C14/14 ,  B22F3/15 ,  C22C1/04

CPC分类号： H01J37/3426 ,  B22F3/15 ,  B22F3/24 ,  B22F2003/185 ,  B22F2003/248 ,  B22F2201/01 ,  B22F2301/20 ,  B22F2998/10 ,  C22C1/045 ,  C22C27/04 ,  C23C14/14 ,  C23C14/3414 ,  H01J37/3491 ,  B22F5/00

摘要： 本发明涉及一种溅镀靶材，所述溅镀靶材含有钼和来自群组(钽、铌)的至少一种金属，其中来自所述群组(钽、铌)的金属的平均含量为5at％至15at％，以及钼含量大于或等于80at％。所述溅镀靶材包括至少一个基质，所述基质具有大于或等于92at％的平均钼含量；以及粒子，所述粒子由含有来自所述群组(钽、铌)的至少一种金属和钼的混晶构成并嵌入于所述基质中，所述粒子具有大于或等于15at％的平均钼含量。本发明进一步涉及一种用于制造溅镀靶材的方法。

公开(公告)号：CN111527234B

公开(公告)日：2022-10-14

申请号：CN201880064791.0

申请日：2018-09-05

申请人： 普兰西股份有限公司

发明人： 恩里科·弗兰兹克 ,  哈拉尔德·考斯滕鲍尔 ,  乔格·温克勒 ,  多米尼克·洛伦兹 ,  托马斯·莱特

IPC分类号： C23C14/08 ,  C01G39/02 ,  C04B35/495 ,  C04B35/645 ,  C23C14/34

摘要： 本发明涉及一种导电氧化靶材料，其包含至少60体积％比例的亚化学计量的氧化钼相、2‑20体积％比例的MoO2相、可选地0‑20体积％比例的MoO3相。所述比例的亚化学计量的氧化钼相由一种或多种亚化学计量MoO3‑y相形成，其中y在每种情况下在0.05至0.25的范围内。

公开(公告)号：CN111527234A

公开(公告)日：2020-08-11

申请号：CN201880064791.0

申请日：2018-09-05

申请人： 普兰西股份有限公司

发明人： 恩里科·弗兰兹克 ,  哈拉尔德·考斯滕鲍尔 ,  乔格·温克勒 ,  多米尼克·洛伦兹 ,  托马斯·莱特

IPC分类号： C23C14/08 ,  C01G39/02 ,  C04B35/495 ,  C04B35/645 ,  C23C14/34

摘要： 本发明涉及一种导电氧化靶材料，其包含至少60体积％比例的亚化学计量的氧化钼相、2-20体积％比例的MoO2相、可选地0-20体积％比例的MoO3相。所述比例的亚化学计量的氧化钼相由一种或多种亚化学计量MoO3-y相形成，其中y在每种情况下在0.05至0.25的范围内。