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公开(公告)号：CN102668022A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201080055034.0
申请日：2010-06-21
申请人： 普利西斯株式会社
发明人： 金培镇
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67772 , H01L21/67739
摘要： 本发明涉及一种门阀，其通过具备控制开闭部件的朝上下方向的移动的上下动作驱动器和，控制朝前后方向的移动的前后退驱动器，使打开或关闭晶片的移动通道的开闭部件正确的以“L”字形动作，这是本发明的优点。
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公开(公告)号：CN107646084B
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201680029800.3
申请日：2016-04-14
申请人： 普利西斯株式会社
摘要： 本发明的特征在于，包括：开闭板，其以板形状形成，其一侧面与所述移动通路部接触，且在另一侧面分别形成有螺合部，在螺合部的外周分别形成有第一弹性构件安放部，以便第一弹性构件的一侧面安放；轴连接杆，其在开闭板另一侧面配备一个以上，分别形成有接触凸出部，所述接触凸出部形成第二弹性构件安放部，以便所述第一弹性构件的另一侧面安放；第一弹性构件，其分别配置于所述第一弹性构件安放部与第二弹性构件安放部之间，引导开闭板与轴连接杆弹性连接；连接单元，其分别插入于连接部，与开闭板的另一侧面连接。
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公开(公告)号：CN107002890B
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201580063224.X
申请日：2015-09-16
申请人： 普利西斯株式会社
IPC分类号： F16K3/02 , F16K3/316 , F16K27/04 , F16K31/163 , F16K51/02
摘要： 本发明涉及真空阀，本发明正是为了解决所述问题而研发的，本发明的目的是提供一种真空阀，其特征在于，在驱动块两侧面形成凸出槽区间及包括第一、第二倾斜槽区间的开闭驱动引导槽，在L形运动块(L‑Motion Block)上形成能够引入于所述开闭驱动引导槽并移动的的L形运动辊(L‑Motion Roller)，L形运动辊(L‑Motion Roller)如果位于第一倾斜槽区间的末端部，则阀片的一侧面封闭所述流入口，L形运动辊(L‑Motion Roller)如果位于第二倾斜槽区间的末端部，则阀片的一侧面贴紧所述壳内部面，从根本上杜绝阀片封闭面配备的密封圈接触空气及流体，从而增进密封圈的制品性能，延长密封圈的更换周期。
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公开(公告)号：CN107646084A
公开(公告)日：2018-01-30
申请号：CN201680029800.3
申请日：2016-04-14
申请人： 普利西斯株式会社
摘要： 本发明的特征在于，包括：开闭板，其以板形状形成，其一侧面与所述移动通路部接触，且在另一侧面分别形成有螺合部，在螺合部的外周分别形成有第一弹性构件安放部，以便第一弹性构件的一侧面安放；轴连接杆，其在开闭板另一侧面配备一个以上，分别形成有接触凸出部，所述接触凸出部形成第二弹性构件安放部，以便所述第一弹性构件的另一侧面安放；第一弹性构件，其分别配置于所述第一弹性构件安放部与第二弹性构件安放部之间，引导开闭板与轴连接杆弹性连接；连接单元，其分别插入于连接部，与开闭板的另一侧面连接。
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公开(公告)号：CN107667241B
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201680029799.4
申请日：2016-04-14
申请人： 普利西斯株式会社
CPC分类号： F16K3/184 , F16K3/02 , F16K3/0218 , F16K3/0254 , F16K3/18 , F16K51/02 , H01L21/67126
摘要： 本发明的特征在于，包括：阀壳，其在内侧形成驱动空间，在两侧面打孔形成有移动通路部；阀叶，其安装于驱动空间，从内侧开闭移动通路部；主轴，其结合于阀叶后面；垂直移动部，其在阀壳下部形成，且借助于空压而沿上、下方向移动的第一活塞和主轴在垂直移动部内部连接，使所述阀叶沿上、下方向移动；水平移动部，其结合于垂直移动部下部，且具备在两侧面沿垂直方向分别打孔形成的垂直移动引导槽；水平移动单元，其具备配备于水平移动部内部的第二活塞、在第二活塞下部形成的移动引导凸块、在移动引导凸块两侧形成并穿过垂直移动引导槽的凸轮辊；本体托架，其在阀壳下部形成，以便容纳垂直移动部和水平移动部，且在两内侧面倾斜地形成有开闭诱导槽，所述开闭诱导槽供从垂直移动引导槽穿过的凸轮辊插入，随着水平移动单元的上、下移动，引导所述阀叶沿前、后方向移动。
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公开(公告)号：CN107667241A
公开(公告)日：2018-02-06
申请号：CN201680029799.4
申请日：2016-04-14
申请人： 普利西斯株式会社
CPC分类号： F16K3/184 , F16K3/02 , F16K3/0218 , F16K3/0254 , F16K3/18 , F16K51/02 , H01L21/67126 , F16K3/314
摘要： 本发明的特征在于，包括：阀壳，其在内侧形成驱动空间，在两侧面打孔形成有移动通路部；阀叶，其安装于驱动空间，从内侧开闭移动通路部；主轴，其结合于阀叶后面；垂直移动部，其在阀壳下部形成，且借助于空压而沿上、下方向移动的第一活塞和主轴在垂直移动部内部连接，使所述阀叶沿上、下方向移动；水平移动部，其结合于垂直移动部下部，且具备在两侧面沿垂直方向分别打孔形成的垂直移动引导槽；水平移动单元，其具备配备于水平移动部内部的第二活塞、在第二活塞下部形成的移动引导凸块、在移动引导凸块两侧形成并穿过垂直移动引导槽的凸轮辊；本体托架，其在阀壳下部形成，以便容纳垂直移动部和水平移动部，且在两内侧面倾斜地形成有开闭诱导槽，所述开闭诱导槽供从垂直移动引导槽穿过的凸轮辊插入，随着水平移动单元的上、下移动，引导所述阀叶沿前、后方向移动。
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公开(公告)号：CN107002890A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201580063224.X
申请日：2015-09-16
申请人： 普利西斯株式会社
IPC分类号： F16K3/02 , F16K3/316 , F16K27/04 , F16K31/163 , F16K51/02
CPC分类号： F16K1/425 , F16K1/36 , F16K1/52 , F16K3/0254 , F16K3/184 , F16K27/0236 , F16K3/0281 , F16K3/316 , F16K27/044 , F16K31/163 , F16K51/02
摘要： 本发明涉及真空阀，本发明正是为了解决所述问题而研发的，本发明的目的是提供一种真空阀，其特征在于，在驱动块两侧面形成凸出槽区间及包括第一、第二倾斜槽区间的开闭驱动引导槽，在L形运动块(L‑Motion Block)上形成能够引入于所述开闭驱动引导槽并移动的L形运动辊(L‑Motion Roller)，L形运动辊(L‑Motion Roller)如果位于第一倾斜槽区间的末端部，则阀片的一侧面封闭所述流入口，L形运动辊(L‑Motion Roller)如果位于第二倾斜槽区间的末端部，则阀片的一侧面贴紧所述壳内部面，从根本上杜绝阀片封闭面配备的密封圈接触空气及流体，从而增进密封圈的制品性能，延长密封圈的更换周期。
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公开(公告)号：CN102668022B
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：CN201080055034.0
申请日：2010-06-21
申请人： 普利西斯株式会社
发明人： 金培镇
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67772 , H01L21/67739
摘要： 本发明涉及一种门阀，其通过具备控制开闭部件的朝上下方向的移动的上下动作驱动器和，控制朝前后方向的移动的前后退驱动器，使打开或关闭晶片的移动通道的开闭部件正确的以“L”字形动作，这是本发明的优点。
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公开(公告)号：CN107850223B
公开(公告)日：2020-02-04
申请号：CN201680044995.9
申请日：2016-07-11
申请人： 普利西斯株式会社
摘要： 本发明的特征在于，包括：阀叶(200)，其安装于形成有前面和后面分别开口的第一/第二移动孔(110、120)的阀壳(100)内部，使各个所述移动孔(110、120)开闭；轴(300)，其结合于所述阀叶(200)的下部；第一驱动凸块(400)，其配备于所述阀壳(100)的下部，且分别具备第一缸(410)、第一活塞(420)、水平移动引导辊(430、430’)，所述第一缸(410)供所述轴(300)插入，所述第一活塞(420)安装于所述第一缸(410)内部，且与所述轴(300)的下部结合，随着所述第一缸(410)内部的压力变化而使所述轴(300)沿上、下方向移动，所述水平移动引导辊(430、430’)在其两外侧面引导所述阀叶(200)的水平移动；第二驱动凸块(500)，其能沿上下方向移动地结合于所述第一驱动凸块(400)的下部，且在其两内侧面分别形成有水平移动引导槽(510、510’)，随着所述水平移动引导辊(430、430’)分别插入于所述水平移动引导槽(510、510’)并沿上、下方向移动，引导所述阀叶(200)的水平方向移动；第三驱动凸块(600)，其在所述第二驱动凸块(500)下部形成，且在其内部形成有第一/第二安放部(610、620)、第二活塞(611)、移动限制构件(621)，所述第一/第二安放部(610、620)由各自独立的空间构成，所述第二活塞(611)在所述第一安放部(610)，与所述第二驱动凸块(500)结合，随着所述第一安放部(610)内部的压力变化而使所述第二驱动凸块(500)沿上、下方向移动，所述移动限制构件(621)在所述第二安放部(620)能沿上、下方向移动安装，限制所述第二活塞(611)向下方的移动；本体托架(700)，其在所述阀壳(100)下部形成，容纳所述第一/第二/第三驱动凸块(400、500、600)。
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公开(公告)号：CN106605092B
公开(公告)日：2019-06-25
申请号：CN201580047786.5
申请日：2015-09-03
申请人： 普利西斯株式会社
IPC分类号： F16K49/00
CPC分类号： F16K49/002 , F16K1/32 , F16K1/48 , F16K31/1221 , F16K41/10 , F16K51/02
摘要： 本发明涉及具备固定加热块的角阀，其特征在于，包括：阀壳(100)，其在内侧形成有流体移动孔(101)，且具备供流体流入的流入部(110)和供流体流出的流出部(120)；固定加热块(200)，其固定安装于所述阀壳(100)的内侧，且在内部具备滑动孔(210)；驱动构件(300)，其能拆卸地结合于所述阀壳(100)上部，提供驱动力；密闭部(400)，其与所述驱动构件(300)连接，根据所述驱动构件(300)的驱动与否而开闭所述流入部(110)。
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