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公开(公告)号：CN107567557B
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201680023694.8
申请日：2016-03-03
Applicant: 普莱克斯技术有限公司
Abstract: 本发明提供了一种提高亚大气压流量稳定性的修改的真空致动阀组件和密封机构，所述真空致动阀组件和密封机构的特征在于不存在递送压力尖峰和流量偏移。所述阀组件包括非固定的热塑性座和插扣件。所述插扣件的特征在于具有顶部部分，所述顶部部分具有被设计成与所述热塑性座的内密封表面机械地接合和脱离的圆形周边。所述密封表面被压印以消除其中包含的表面不规则，从而产生针对所述插扣件的所述圆形顶部部分的相对平滑的压印配对内密封表面。所述阀组件还包括能够对所述阀组件的所述递送压力进行精调的修改的波纹管。
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公开(公告)号：CN107567557A
公开(公告)日：2018-01-09
申请号：CN201680023694.8
申请日：2016-03-03
Applicant: 普莱克斯技术有限公司
CPC classification number: F16K1/36 , F16K1/303 , F17C13/04 , F17C2201/0114 , F17C2201/058 , F17C2203/0617 , F17C2205/0329 , F17C2205/0338 , F17C2205/0385 , F17C2205/0391 , F17C2205/0394 , F17C2221/037 , F17C2223/0123 , F17C2223/0153 , F17C2223/033 , F17C2223/036 , F17C2225/0123 , F17C2225/038 , F17C2270/0518 , G05D16/0622
Abstract: 本发明提供了一种提高亚大气压流量稳定性的修改的真空致动阀组件和密封机构，所述真空致动阀组件和密封机构的特征在于不存在递送压力尖峰和流量偏移。所述阀组件包括非固定的热塑性座和插扣件。所述插扣件的特征在于具有顶部部分，所述顶部部分具有被设计成与所述热塑性座的内密封表面机械地接合和脱离的圆形周边。所述密封表面被压印以消除其中包含的表面不规则，从而产生针对所述插扣件的所述圆形顶部部分的相对平滑的压印配对内密封表面。所述阀组件还包括能够对所述阀组件的所述递送压力进行精调的修改的波纹管。
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公开(公告)号：CN111033679B
公开(公告)日：2021-11-23
申请号：CN201880053287.0
申请日：2018-08-22
Applicant: 普莱克斯技术有限公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/08 , H01J37/32
Abstract: 本发明提供了一种用于使用含锑掺杂剂材料的新型方法、组合物以及系统。作为离子注入工艺的一部分，选择具有足够蒸气压的组合物，以使该组合物流入电弧室。含锑材料由含非碳的化学式表示，从而减少或消除将碳基沉积物引入离子室中。组合物在稳定条件下储存在储存和输送器皿中，该储存和输送器皿包括不含痕量的水分的无水环境。
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公开(公告)号：CN111033679A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201880053287.0
申请日：2018-08-22
Applicant: 普莱克斯技术有限公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/08 , H01J37/32
Abstract: 本发明提供了一种用于使用含锑掺杂剂材料的新型方法、组合物以及系统。作为离子注入工艺的一部分，选择具有足够蒸气压的组合物，以使该组合物流入电弧室。含锑材料由含非碳的化学式表示，从而减少或消除将碳基沉积物引入离子室中。组合物在稳定条件下储存在储存和输送器皿中，该储存和输送器皿包括不含痕量的水分的无水环境。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119968376A
公开(公告)日：2025-05-09
申请号：CN202380070689.2
申请日：2023-06-14
Applicant: 普莱克斯技术有限公司
IPC: C07F5/06 , C23F1/12 , H01L21/311
Abstract: 提供了新型高纯度氯化二甲基铝组合物，新型高纯度氯化二甲基铝组合物适用于半导体应用，诸如原子层蚀刻和铝离子注入。特定气态杂质的减少或最大程度减少允许DMAC的气相具有99.9摩尔％或更高的纯度水平以在可接受的蚀刻速率下以高选择性和高蚀刻精度选择性地蚀刻各种原子层，并且允许具有99摩尔％或更高的纯度水平以离子注入铝离子而基本上不将C2H3离子注入到晶片器件中，从而避免该晶片器件的劣化或失效。建立有利于维持此类半导体应用所需的高纯度水平的储存条件。
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公开(公告)号：CN111613505B
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN201910307927.2
申请日：2019-04-17
Applicant: 普莱克斯技术有限公司
IPC: H01J37/08 , H01J37/317
Abstract: 本发明题为“将含锑材料储存和输送到离子注入机”。本发明提供了一种用于使用含锑掺杂剂材料的新型方法、组合物以及储存和输送容器。选择具有足够蒸气压的组合物，以使该组合物以稳定、充足和持续的流速流入电弧室，作为离子注入工艺的一部分。含锑材料由含非碳的化学式表示，从而减少或消除将碳基沉积物引入离子室中。组合物在稳定条件下储存在储存和输送器皿中，该储存和输送器皿包括不含痕量的水分的无水环境。储存和输送容器被具体地设计成允许以稳定、充足和持续的流速输送高纯度蒸气相含锑掺杂剂材料。
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公开(公告)号：CN111613505A
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：CN201910307927.2
申请日：2019-04-17
Applicant: 普莱克斯技术有限公司
IPC: H01J37/08 , H01J37/317
Abstract: 本发明题为“将含锑材料储存和输送到离子注入机”。本发明提供了一种用于使用含锑掺杂剂材料的新型方法、组合物以及储存和输送容器。选择具有足够蒸气压的组合物，以使该组合物以稳定、充足和持续的流速流入电弧室，作为离子注入工艺的一部分。含锑材料由含非碳的化学式表示，从而减少或消除将碳基沉积物引入离子室中。组合物在稳定条件下储存在储存和输送器皿中，该储存和输送器皿包括不含痕量的水分的无水环境。储存和输送容器被具体地设计成允许以稳定、充足和持续的流速输送高纯度蒸气相含锑掺杂剂材料。
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公开(公告)号：CN114728264B
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202080079837.3
申请日：2020-11-10
Applicant: 普莱克斯技术有限公司
Abstract: 本发明公开了一种具有结构改性颗粒碳吸附剂的碳吸附剂储存和分配系统，该结构改性颗粒碳吸附剂被设计成对于一定范围的粒度具有最佳体积表面积。仔细平衡体密度和比表面积以确保体积表面积保持在最佳范围内以产生高性能，如通过可逆地吸附到该结构改性颗粒碳吸附剂上的掺杂剂流体的分配容量测量的。
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公开(公告)号：CN114728264A
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202080079837.3
申请日：2020-11-10
Applicant: 普莱克斯技术有限公司
IPC: B01J20/20
Abstract: 本发明公开了一种具有结构改性颗粒碳吸附剂的碳吸附剂储存和分配系统，该结构改性颗粒碳吸附剂被设计成对于一定范围的粒度具有最佳体积表面积。仔细平衡体密度和比表面积以确保体积表面积保持在最佳范围内以产生高性能，如通过可逆地吸附到该结构改性颗粒碳吸附剂上的掺杂剂流体的分配容量测量的。
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