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公开(公告)号：CN101243285B
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN200680029368.4
申请日：2006-07-10
申请人： 普莱克斯技术有限公司
IPC分类号： F17C9/02
CPC分类号： F17C9/02 , F17C2221/05 , F17C2223/0153 , F17C2223/033 , F17C2223/046 , F17C2225/0123 , F17C2225/035 , F17C2227/0107 , F17C2227/0304 , F17C2227/0309 , F17C2227/0369 , F17C2227/0376 , F17C2227/0386 , F17C2227/0393 , F17C2227/047 , F17C2265/015 , F17C2265/017 , F17C2270/0518
摘要： 一种系统和设备(100)，其用于制造缺乏低挥发性杂质的低蒸气压力蒸气流，并将其传送给使用点。该系统提供了在其中容纳液相或两相流体的运送容器(10)。液体和/或两相流体从所述运送容器(10)传输到气化容器(40)中，其中至少蒸发了液体的一部分。富含低挥发性杂质的液流从气化容器(40)中取出，且缺乏低挥发性杂质的流从气化容器(10)中取出。低蒸气压力流被传送给使用点且纯度保持在所需范围内。
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公开(公告)号：CN101243285A
公开(公告)日：2008-08-13
申请号：CN200680029368.4
申请日：2006-07-10
申请人： 普莱克斯技术有限公司
IPC分类号： F17C9/02
CPC分类号： F17C9/02 , F17C2221/05 , F17C2223/0153 , F17C2223/033 , F17C2223/046 , F17C2225/0123 , F17C2225/035 , F17C2227/0107 , F17C2227/0304 , F17C2227/0309 , F17C2227/0369 , F17C2227/0376 , F17C2227/0386 , F17C2227/0393 , F17C2227/047 , F17C2265/015 , F17C2265/017 , F17C2270/0518
摘要： 一种系统和设备(100)，其用于制造缺乏低挥发性杂质的低蒸气压力蒸气流，并将其传送给使用点。该系统提供了在其中容纳液相或两相流体的运送容器(10)。液体和/或两相流体从所述运送容器(10)传输到气化容器(40)中，其中至少蒸发了液体的一部分。富含低挥发性杂质的液流从气化容器(40)中取出，且缺乏低挥发性杂质的流从气化容器(10)中取出。低蒸气压力流被传送给使用点且纯度保持在所需范围内。
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公开(公告)号：CN101531348B
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN200810209875.7
申请日：2008-11-07
申请人： 普莱克斯技术有限公司
IPC分类号： C01B21/04
CPC分类号： B01D53/0454 , B01D2256/10 , B01D2257/104 , B01D2257/108 , B01D2257/502
摘要： 本发明涉及一种防止高纯气体生产装置不需要的停机的系统。本发明提供了一种新型故障-安全温度监测系统，该系统可区分过高的化学吸附剂温度和温度传感组件故障。该系统防止了气体纯化器由于温度传感组件故障而停机，从而防止了高纯气体生产设备的错误停机。
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公开(公告)号：CN101531348A
公开(公告)日：2009-09-16
申请号：CN200810209875.7
申请日：2008-11-07
申请人： 普莱克斯技术有限公司
IPC分类号： C01B21/04
CPC分类号： B01D53/0454 , B01D2256/10 , B01D2257/104 , B01D2257/108 , B01D2257/502
摘要： 本发明涉及一种防止高纯气体生产装置不需要的停机的系统。本发明提供了一种新型故障－安全温度监测系统，该系统可区分过高的化学吸附剂温度和温度传感组件故障。该系统防止了气体纯化器由于温度传感组件故障而停机，从而防止了高纯气体生产设备的错误停机。
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公开(公告)号：CN101524611B
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN200810191123.2
申请日：2008-11-07
申请人： 普莱克斯技术有限公司
CPC分类号： B01D53/30 , B01D53/0454 , B01D2256/12 , B01D2257/502 , C01B21/0483 , C01B2210/0042 , C01B2210/0045 , C01B2210/005 , C01B2210/0053 , F25J3/04563 , F25J3/04636 , F25J3/04824 , F25J3/08 , F25J2205/60 , F25J2215/02 , F25J2215/44 , F25J2245/42 , F25J2290/62
摘要： 本发明涉及防止污染物到达气体净化器的系统，包括使用空气分离单元将供给分离单元的气体物流和污染物分离产生常规纯度气体物流；将离开空气分离单元的常规纯度气体物流引入气体净化器进一步去除污染物；使用至少一个设置在将常规纯度气体物流从空气分离单元引入气体净化器的管线上的污染物检测装置测定常规纯度气体物流中的污染物浓度，在污染物检测装置的下游提供至少一个缓冲容积，其中缓冲容积的尺寸使得在将常规纯度气体物流引入气体净化器之前保持预定体积的常规纯度气体，使得如果在缓冲容器的上游检测到的污染物浓度超过预定值，可以防止被污染的常规纯度气体物流到达气体净化器并引起放热反应。
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公开(公告)号：CN101524611A
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：CN200810191123.2
申请日：2008-11-07
申请人： 普莱克斯技术有限公司
CPC分类号： B01D53/30 , B01D53/0454 , B01D2256/12 , B01D2257/502 , C01B21/0483 , C01B2210/0042 , C01B2210/0045 , C01B2210/005 , C01B2210/0053 , F25J3/04563 , F25J3/04636 , F25J3/04824 , F25J3/08 , F25J2205/60 , F25J2215/02 , F25J2215/44 , F25J2245/42 , F25J2290/62
摘要： 本发明涉及防止污染物到达气体净化器的系统，包括使用空气分离单元将供给分离单元的气体物流和污染物分离产生常规纯度气体物流；将离开空气分离单元的常规纯度气体物流引入气体净化器进一步去除污染物；使用至少一个设置在将常规纯度气体物流从空气分离单元引入气体净化器的管线上的污染物检测装置测定常规纯度气体物流中的污染物浓度，在污染物检测装置的下游提供至少一个缓冲容积，其中缓冲容积的尺寸使得在将常规纯度气体物流引入气体净化器之前保持预定体积的常规纯度气体，使得如果在缓冲容器的上游检测到的污染物浓度超过预定值，可以防止被污染的常规纯度气体物流到达气体净化器并引起放热反应。
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