公开(公告)号：CN110429021B

公开(公告)日：2024-09-06

申请号：CN201910671677.0

申请日：2019-07-24

申请人： 曲靖隆基硅材料有限公司

发明人： 孙辰 ,  姚凯同 ,  袁黎平 ,  张鑫

IPC分类号： H01L21/02 ,  H01L21/67 ,  H01L21/673 ,  H01L21/677

摘要： 本发明公开了一种硅片清洗沥干装置及方法、清洗烘干装置及方法，包括花篮工装、沥干支架、提升机构和烘干支架；沥干支架具有沥干倾斜面，烘干支架具有烘干倾斜面；烘干支架设置在烘干槽的底部，沥干支架设置在清洗槽中，且能相对清洗槽进行升降；花篮工装底部能倾斜放置在沥干倾斜面或烘干倾斜面上，花篮工装用于设置硅片。通过搬运时和搬运后形态的改变，使水残留在硅片间移动，破坏水体张力，减少水分残留。本申请能使清洗的硅片，在烘干前，快速进行沥水，沥除多余残水，节省烘干时间，在保证烘干质量的前提下，提高产能。同时，在烘干前，硅片底部无水体残留，从而进一步节省烘干时间，提升烘干效果。