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公开(公告)号：CN115196109A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202210819215.0
申请日：2022-07-13
申请人： 有研亿金新材料有限公司 , 有研亿金新材料(山东)有限公司
摘要： 本发明提供了一种大尺寸靶材全自动包装机的核心组件及其使用方法，该核心组件包括骨架、溜板小车、底部滑轨组件、左托叉和右托叉，底部滑轨组件、左托叉和右托叉分别安装在骨架上，溜板小车安装在底部滑轨组件上；溜板小车包括圆托、溜板小车骨架、滑台、伺服电机Ⅱ、升降架和伺服升降驱动组件，其中，圆托安装在升降架顶部；升降架安装在伺服升降驱动组件上；伺服升降驱动组件安装在溜板小车上；升降架的背部通过滑轨安装在溜板小车骨架上，溜板小车骨架安装在滑台上并左右移动以实现靶材的运送。本发明中的核心组件在整个机器中起到托运大尺寸靶材、套袋支撑作用，也可直接作为半自动包装机使用；使包装作业机械化降低人力成本，提高生产效率。
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公开(公告)号：CN115196109B
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202210819215.0
申请日：2022-07-13
申请人： 有研亿金新材料有限公司 , 有研亿金新材料(山东)有限公司
摘要： 本发明提供了一种大尺寸靶材全自动包装机的核心组件及其使用方法，该核心组件包括骨架、溜板小车、底部滑轨组件、左托叉和右托叉，底部滑轨组件、左托叉和右托叉分别安装在骨架上，溜板小车安装在底部滑轨组件上；溜板小车包括圆托、溜板小车骨架、滑台、伺服电机Ⅱ、升降架和伺服升降驱动组件，其中，圆托安装在升降架顶部；升降架安装在伺服升降驱动组件上；升降架的背部通过滑轨安装在溜板小车骨架上，溜板小车骨架安装在滑台上并左右移动以实现靶材的运送。本发明中的核心组件在整个机器中起到托运大尺寸靶材、套袋支撑作用，也可直接作为半自动包装机使用；使包装作业机械化降低人力成本，提高生产效率。
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公开(公告)号：CN113427114B
公开(公告)日：2022-07-19
申请号：CN202110712010.8
申请日：2021-06-25
申请人： 有研亿金新材料有限公司
摘要： 本发明提出了一种溅射环批量电子束焊接的组件及方法，包括芯轴、隔板、套筒、挡板和螺栓。芯轴固定在电子束焊机卡盘上，尾部可通过电子束焊机工作台上的尾座顶尖支撑。批量焊接溅射环时，可一次安装多个溅射环，两个隔板固定一个溅射环，最后依靠挡板和螺栓固定。焊接时，只需要进行第一个溅射环支撑件和电极坐标、高压、束流和线速度等参数设定，其他溅射环可通过编程自动进行焊接。该溅射环批量电子束焊接组件及方法减少了多次抽真空和冷却时间，也减少了多次设定坐标参数的时间，提高了生产效率，降低了企业生产成本。
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公开(公告)号：CN112475788A
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN202011159210.7
申请日：2020-10-27
申请人： 有研亿金新材料有限公司
IPC分类号： B23P15/00
摘要： 本发明公开了属于磁控溅射靶材制造领域的一种铜聚焦环的制造方法；其中先对准备好的铜锭进行热锻处理，加工成预制铜条；再对预制铜条进行调平，切割成预定尺寸的铜板条；对铜板条进行卷圆处理，制成环状的开口铜环，焊接开口铜环的铜环接口，并将制成的闭口铜环车加工到成品尺寸；在闭口铜环外表面的相应位置车削加工出焊接槽，将预制好的圆柱状连接部件放入焊接槽中并对圆柱状连接部件焊接；最后铣加工出开口，制成开口的铜聚焦溅射环。本发明先通过对热锻处理后的铜锭进行水冷急速冷却，提高了铜环的强度和硬度；最后采用电子束点焊与电子束封焊结合的方式将圆柱状连接部件焊接到铜环上，保证焊接位置外观和聚焦环安装效果。
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公开(公告)号：CN113427114A
公开(公告)日：2021-09-24
申请号：CN202110712010.8
申请日：2021-06-25
申请人： 有研亿金新材料有限公司
摘要： 本发明提出了一种溅射环批量电子束焊接的组件及方法，包括芯轴、隔板、套筒、挡板和螺栓。芯轴固定在电子束焊机卡盘上，尾部可通过电子束焊机工作台上的尾座顶尖支撑。批量焊接溅射环时，可一次安装多个溅射环，两个隔板固定一个溅射环，最后依靠挡板和螺栓固定。焊接时，只需要进行第一个溅射环支撑件和电极坐标、高压、束流和线速度等参数设定，其他溅射环可通过编程自动进行焊接。该溅射环批量电子束焊接组件及方法减少了多次抽真空和冷却时间，也减少了多次设定坐标参数的时间，提高了生产效率，降低了企业生产成本。
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公开(公告)号：CN213163601U
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN202021194781.X
申请日：2020-06-24
申请人： 有研亿金新材料有限公司
IPC分类号： B23K15/00
摘要： 本实用新型公开了一种溅射环体和固定组件的电子束焊接工装，包括装夹底座、紧固盖板和紧固螺钉，其特征在于，所述装夹底座包括下侧圆台、圆盘和上侧圆台，所述上侧圆台上对应溅射环体焊接位置处开有凹槽；通过所述紧固盖板与所述紧固螺钉的配合对溅射环体进行紧固。本实用新型通过设置紧固盖板与紧固螺钉，对物料进行加持紧固，防止薄壁环体变形，并通过在装夹底座的上侧圆台上开设凹槽，有效解决了溅射环的焊接位置背面在焊接过程中因升温膨胀而与工装卡具紧紧卡在一起，导致的拆卸困难而损伤环体表面的问题，提高了生产效率及成品率。
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公开(公告)号：CN214922310U
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202120836347.5
申请日：2021-04-22
申请人： 有研亿金新材料有限公司
摘要： 本实用新型公开了属于磁控溅射靶材制造技术领域的一种环件开口及表面沉孔加工工装。反撑软爪的底部设有法兰面，反撑软爪的顶部表面的对称线上靠近圆弧边缘处设有顶部螺栓孔；反撑软爪和铣开口反撑软爪的底部槽中线处设置反撑钢爪；尼龙压块通过压紧螺栓安装在顶部螺栓孔上；圆弧压片的上下端面分别设置开口槽和孔；环件的外壁设置粘性软垫；铣开口反撑软爪的外圆面设置走刀槽，铣开口反撑软爪的顶部设有两个顶部方形槽，底部设有底部方型槽；铣开口反撑软爪顶部表面的方形槽内嵌入设置上拉块，底部表面的方形槽内嵌入设置下拉块。本实用新型实现了环件开口及表面沉孔的批量加工，安装方便，受力均匀，也可最大程度保护环件的形状。
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公开(公告)号：CN213388818U
公开(公告)日：2021-06-08
申请号：CN202022239700.X
申请日：2020-10-10
申请人： 有研亿金新材料有限公司
摘要： 本实用新型公开了属于磁控溅射靶材制造领域的一种磁控溅射环热处理工装；其中三个单孔夹持组和双孔夹持组通过筋板呈环形安装于料盘的上端面；溅射环环体上开有五个安装孔，其中两个安装孔位于矩形开口的两侧；溅射环环体中位于矩形开口的两侧的两个安装孔通过销轴安装于双孔夹持组内，不位于矩形开口的两侧的其余三个安装孔通过销轴安装于单孔夹持组内。本实用新型相比于无工装时溅射环自然平铺或叠加放置，使用热处理工装可实现逐层叠放，可充分利用炉膛空间，提高热处理效率，节约了生产成本。通过与溅射环的五点接触式重叠装配，有效保护了成品环体的滚花表面，环体受热均匀，不易变形。
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