公开(公告)号：CN105506557A

公开(公告)日：2016-04-20

申请号：CN201510958458.2

申请日：2015-12-18

申请人： 有研亿金新材料有限公司

发明人： 张巧霞 ,  张涛 ,  曹惠 ,  李勇军 ,  张春利 ,  贾存锋 ,  徐国进 ,  吕超

IPC分类号： C23C14/24 ,  B22D11/116

CPC分类号： C23C14/24 ,  B22D11/116

摘要： 一种高纯贵金属蒸发材料及其制备方法，该方法包括如下步骤：(1)以高纯贵金属为原材料，利用真空感应熔炼进行精炼，除去气体和杂质；其中，原材料纯度为99.99wt.％以上；(2)然后采用连续铸造，从坩埚底部以间歇式将结晶器中结晶的熔体引出，即可获得一定尺寸的高纯贵金属蒸发材料，所获得的丝材直径为多种规格，可以是φ3～12mm，若对长度有要求，可根据使用要求进行切断。采用本发明方法制备高纯贵金属蒸发材料，具有高效率、短流程、低损耗、低能耗、高精准化等优点，制备的高纯贵金属蒸发材料，杂质元素得到充分去除，纯度满足99.99.wt％以上的高纯金属标准要求，满足电子信息产业对制备高质量薄膜的性能要求。