公开(公告)号：CN118030446A

公开(公告)日：2024-05-14

申请号：CN202410179267.5

申请日：2024-02-18

申请人： 有研工程技术研究院有限公司

发明人： 郭德宇 ,  游孟园 ,  吴华亭 ,  徐晓强 ,  李洋 ,  刘坤 ,  刘晓鹏 ,  杨剑 ,  杨志民 ,  王禄禄 ,  张文宇

IPC分类号： F04B37/02 ,  F04B37/14 ,  F04B41/06 ,  F04B39/14

摘要： 本发明公开了属于真空技术领域的一种紧凑型离子吸气复合泵。其中，离子泵单元高压电极与离子泵单元阳极筒以中圆柱孔间隙配合，并通过螺钉挤压紧密连接；离子泵单元高压电极与离子泵单元壳体连接；离子泵单元磁铁与离子泵单元屏蔽磁钢通过磁力紧密贴合；离子泵单元阴极板的四个引脚安装于离子泵单元壳体内；吸气剂泵单元吸气元件模块内部串有吸气剂泵单元加热组件，吸气剂泵单元壳体分别与离子泵单元壳体、吸气剂泵单元吸气元件模块焊接；吸气剂泵单元电极安装于吸气剂泵单元加热组件上。本发明实现了非氢气体、氢气分级吸收，可以充分发挥两个功能单元的吸气特性，降低了加工难度，且便于装配。

公开(公告)号：CN118028742A

公开(公告)日：2024-05-14

申请号：CN202410220349.X

申请日：2024-02-28

申请人： 有研工程技术研究院有限公司

发明人： 吴华亭 ,  熊玉华 ,  李洋 ,  徐晓强 ,  郭德宇 ,  游孟园 ,  张文宇

IPC分类号： C23C14/14 ,  C23C14/02 ,  C23C14/58

摘要： 本发明提出一种电加热型薄膜吸气剂及其制备方法，该电加热型薄膜吸气剂由基底材料和表面的吸气材料组成，基底材料经无机复合酸清洗处理后真空烘干，然后在基底材料表面物理气相沉积制备一层或多层吸气材料，最后将其进行真空退火，得到电加热型薄膜吸气剂。该制备方法工艺简单、可操作性强，制备的电加热型薄膜吸气剂具有柔性，结构简单轻巧，便于装配，膜基结合力好，可独立激活，吸气性能高的特点。

公开(公告)号：CN118600378A

公开(公告)日：2024-09-06

申请号：CN202410637767.9

申请日：2024-05-22

申请人： 有研工程技术研究院有限公司

发明人： 熊玉华 ,  吴华亭 ,  徐晓强 ,  李洋 ,  张文宇

IPC分类号： C23C14/35 ,  B22D7/00 ,  C22C16/00 ,  B22F9/04 ,  B22F3/14 ,  B22F3/24 ,  C01B3/00

摘要： 本发明涉及磁控溅射靶材制造技术领域，具体涉及一种Zr‑Co‑RE合金吸气剂靶材及其制备方法和应用，首先通过悬浮熔炼制备合金锭，通过对熔炼工艺的设计，使合金原料的混合更加充分，得到的合金锭的质地更加均匀；然后，将合金锭表面除杂后粉碎得到特定粒径范围的合金粉末，通过热压制备吸气剂靶，通过对合金粉末粒径的精确控制以及热压工艺的进一步优化，本发明所制备的靶材纯度高、致密度高(≥99.0％)、组织均匀好，适合大批量工业化生产，成本较采用热等静压工艺的低。所镀吸气剂薄膜吸气性能好。