公开(公告)号：CN103117242A

公开(公告)日：2013-05-22

申请号：CN201210436958.6

申请日：2012-11-05

申请人： 朗姆研究公司

发明人： 里什·查特里 ,  大卫·谢弗 ,  李成 ,  丹·哈伯

IPC分类号： H01L21/687

CPC分类号： H01L21/68735 ,  H01L21/67069 ,  H01L21/6719 ,  Y10T29/49826 ,  Y10T29/49863 ,  Y10T29/53 ,  Y10T29/53657

摘要： 本发明提供了一种包含安装固定件、多个机械紧固件和嵌入工具的套件，使得能够以使弹性体带的内应力释放的方式将弹性体带设置在围绕半导体衬底支撑件的安装槽中，导致弹性体带具有较长的运行寿命。用机械紧固件将该安装固定件固定到衬底支撑件上。将弹性体带围绕安装固定件的外周缘设置，并来回转动以释放该弹性体带的内应力。将该固定件倒转，并使该弹性体带垂直滑动离开该固定件并进入安装槽中。可以使用嵌入工具将该弹性体带全部嵌入到安装槽中。

公开(公告)号：CN103117242B

公开(公告)日：2015-10-28

申请号：CN201210436958.6

申请日：2012-11-05

申请人： 朗姆研究公司

发明人： 里什·查特里 ,  大卫·谢弗 ,  李成 ,  丹·哈伯

IPC分类号： H01L21/687

CPC分类号： H01L21/68735 ,  H01L21/67069 ,  H01L21/6719 ,  Y10T29/49826 ,  Y10T29/49863 ,  Y10T29/53 ,  Y10T29/53657

摘要： 本发明提供了一种包含安装固定件、多个机械紧固件和嵌入工具的套件，使得能够以使弹性体带的内应力释放的方式将弹性体带设置在围绕半导体衬底支撑件的安装槽中，导致弹性体带具有较长的运行寿命。用机械紧固件将该安装固定件固定到衬底支撑件上。将弹性体带围绕安装固定件的外周缘设置，并来回转动以释放该弹性体带的内应力。将该固定件倒转，并使该弹性体带垂直滑动离开该固定件并进入安装槽中。可以使用嵌入工具将该弹性体带全部嵌入到安装槽中。