公开(公告)号：CN108766902A

公开(公告)日：2018-11-06

申请号：CN201810305709.0

申请日：2018-04-08

申请人： 朗姆研究公司

发明人： 玛丽·安妮·普莱诺 ,  巴斯卡尔·索姆帕里 ,  伊恩·斯科特·拉奇福德

IPC分类号： H01L21/67

CPC分类号： H01L22/20 ,  B05B13/00 ,  B05B16/00 ,  H01L21/02041 ,  H01L22/12 ,  H01L21/67011 ,  H01L21/67242

摘要： 本发明涉及用于喷头和电极组件的颗粒和污染在线计量的系统设计。一种用于测试衬底处理室的组件的清洁度的方法包括：将所述组件装载到真空室中；将测试衬底布置在所述真空室内；在所述组件和所述测试衬底装载在所述真空室内的情况下，向所述真空室提供清扫气体；确定通过向所述真空室提供所述清扫气体而导致的在所述测试衬底上累积的颗粒的量以及在所述测试衬底上累积的金属污染物的量中的至少一个；以及基于在所述测试衬底上累积的所确定的所述颗粒的量以及在所述测试衬底上累积的所确定的所述金属污染物的量中的至少一个，估计所述组件的清洁度。

公开(公告)号：CN108130520A

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：CN201711079849.2

申请日：2017-11-06

申请人： 朗姆研究公司

发明人： 伊恩·斯科特·拉奇福德 ,  玛丽·安妮·普莱诺

IPC分类号： C23C16/02 ,  C23C14/02

摘要： 本发明涉及超低缺陷部件处理。一种用于去除和防止衬底处理室的组件的表面上的缺陷的方法包括：将所述组件装载到真空室中；并且，在所述组件被装载在所述真空室内的情况下，在第一预定时间段期间在烘烤温度下烘烤所述组件以从所述组件的表面去除水和缺陷，以及在至少一个第二预定时间段期间清扫所述真空室内的所述组件以从所述真空室中除去所述缺陷。