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发明公开
用于原子层沉积的具有管线填充容积容器的前体分配系统审中-实审

公开(公告)号：CN116583624A

公开(公告)日：2023-08-11

申请号：CN202180081424.3

申请日：2021-12-01

申请人： 朗姆研究公司

发明人： 萨昂格鲁特·桑普朗 , 亚伦·德宾 , 穆尔蒂·穆鲁盖延 , 亚伦·布莱克·米勒 , 邱华檀 , 戈皮纳特·布海马拉塞蒂 , 维克兰特·莱 , 文森特·威尔逊

IPC分类号： C23C16/455

摘要： 前体分配系统包括源、安瓿、第一阀、第二阀、管线填充容积容器及控制器。源供应液态前体。安瓿从源接收液态前体。第一阀调整液态前体从源向安瓿的流动。第二阀调整前体蒸气从安瓿向衬底处理室的喷头的流动。管线填充容积容器连接至导管并储存前体蒸气的填充，其中导管从安瓿延伸至第二阀。控制器：开启第一阀并关闭第二阀以预填充管线填充容积容器；以及于投配操作期间，开启第二阀以将批量的前体蒸气从管线填充容积容器分配至衬底处理室中。