公开(公告)号：CN115958545A

公开(公告)日：2023-04-14

申请号：CN202211243575.7

申请日：2022-10-11

申请人： 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司 ,  杜邦电子公司

发明人： 钱百年 ,  R·M·布洛姆奎斯特 ,  L·M·艾尔-赛义德 ,  M·E·米尔斯 ,  K-A·雷迪 ,  B·K·泰勒 ,  S·夏

IPC分类号： B24D11/00 ,  B24B37/24

摘要： 本发明涉及一种具有抛光层的化学机械抛光垫。该抛光层含有挤出片材。该挤出片材通过挤出混配的可光聚合组合物然后暴露于UV光来制备。

公开(公告)号：CN115958527A

公开(公告)日：2023-04-14

申请号：CN202211241561.1

申请日：2022-10-11

申请人： 杜邦电子公司 ,  罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司

发明人： 钱百年 ,  R·M·布洛姆奎斯特 ,  L·M·埃尔赛德 ,  M·E·米尔斯 ,  K-A·雷迪 ,  B·K·泰勒 ,  S·夏

IPC分类号： B24B37/24 ,  B24D18/00

摘要： 本发明涉及一种具有抛光层的化学机械抛光垫。该抛光层含有挤出片材。该挤出片材是含有嵌段共聚物、可UV固化丙烯酸酯和光引发剂的可光聚合组合物。